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的高性能 SEM
Apreo 扫描电子显微镜（ SEM ）革命性的复合透镜设计结合了静电和磁力浸没技术，可产生的分辨率和信号选择。这使得 Apreo SEM 成为研究纳米颗粒，催化剂，粉末和纳米器件的平台，同时不会影响磁性样品的性能。
Apreo SEM 得益于的镜头内反向散射检测，即使在倾斜，短工作距离或敏感样品上也能提供出色的材料对比度。新型复合透镜通过能量过滤进一步改善了对比度，并为绝缘样品的成像增加了电荷过滤。可选的低真空模式现在具有 500 Pa 的腔室压力，即使是的绝缘体也能成像。
凭借所有这些选项，包括复合最终镜头，*的检测和灵活的样品处理， Apreo SEM 的性能和多功能性将在未来许多年内满足您的研究挑战。
新型 Apreo 扫描电子显微镜（ SEM ）可为各种材料（包括纳米颗粒，金属，复合材料和涂层）提供高性能，并结合创新功能，以获得更好的分辨率，对比度和易用性。
•的复合最终镜头在 1 kV 时可提供 1.0 nm 的出色分辨率，无需任何样品的光束减速，即使它是倾斜的或地形的。
•用的反向散射检测 - 材料对比度始终可用，即使在低电压和电子束电流，任何倾斜角度，光束敏感样品和电视速率成像时也是如此。
•的探测器灵活性 - 通过组合各个探测器段的信息，获得最重要的对比度或信号强度。
电子光学：
1.1发射源：钨灯丝（高性能电子光学镜筒，双阳极热发射电子枪）
1.2固定式物镜光阑，无需手动调整使用方便
1.3加速电压：200V – 30kV，自动256级偏压设计
1.4放大倍数：6× - 1000000×
1.5极靴内有一路单独抽真空系统，保证在低真空和环境模式下电子枪高真空和不受污染，延长灯丝寿命
1.6电子束束流：可达到的值不小于2µA，并连续可调
1.7使用工厂预对中灯丝更换方便
真空系统
2.11个250 l/s分子涡轮泵+1个机械泵
2.2高真空模式：＜1×10-5 Pa
2.3低真空模式：10 – 130 Pa
2.4环境真空模式：10 – 2600 Pa
2.5高真空模式下的换样时间：≤150秒
2.6低真空及环境真空模式下的换样时间：≤270秒
分辨率
3.1高真空模式下的分辨率
3.1.130 kV下3.0 nm (二次电子)
3.1.230 kV下4.0 nm (背散射电子)
3.1.33 kV下8.0 nm (二次电子)
3.2环境真空模式下的分辨率（以英文样本公布的参数为准，并作为验收指标）
3.2.130 kV下3.0 nm (二次电子)
3.2.2具备独立的环境真空/超低真空模式二次电子探头
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