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产品简介: RF-300I-LD 300W小型自动匹配型射频发生器主要适用于我公司制造的 VTC-600-2HD 双靶磁控溅射仪和 VTC-600- 3 HD三靶磁控溅射仪。 RF-300I-LD 300W小型自动匹配型射频发生器在工作时 将自动匹配器和 13.56MHz的射频电源集成在一起 , 可以自动匹配容抗和感抗,使得安装和操作更加方便容易 ;输入功率可根据需要自行进行调整,调整范围在 5W-300W; 冷却过程采用空气冷却,无需采用其它冷却设备,节约了设计成;噪音极低,对环境几乎无污染 。 RF-300I-LD 300W小型自动匹配型射频发生器 配用本司的磁控溅射头 可自行 搭建磁控溅射镀膜仪 对样品进行镀膜操作。
产品型号 | 300W小型 自动匹配型射频电源 RF-300I-LD |
技术参数 | 1、 电源:AC 110V-240V 50Hz/60Hz 2 、 输入功率: 5W-300W (可调),稳定性± 1% 3 、 射频频率 :13.56MHz ,稳定性± 0.005% 4 、匹配:自动匹配,空气电容 5 、冷却:空气冷却 6 、噪音: <50dB |
产品规格 | 尺寸:480mm × 400mm × 140mm |
可选配件 | 1 、 2 " 高真空磁控溅射头,可自行搭建RF 或 DC 溅射镀膜仪。
2 、同时购买 300W 射频发射器和 2 " 磁控溅射头时,本司赠送1 个高真空快速接头。接头内径 为0.75 " ,可将溅射 头安装在真空腔体上,真空腔体上的安装孔直径为1 " ,真空腔体的壁厚 不得大于1 " 。
3 、循环水冷机,流量为 16L/min ,水箱容积为 6L 。 |
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