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自成立以来，成都沃特塞恩电子技术有限公司持续开发了覆盖ISM频段的全系列固态功率源产品，以不断迭代升级的高性能产品补充了工业领域固态功率源产品市场的空白。在持续深耕ISM领域应用的过程中，沃特塞恩联合公司旗下拥有丰富等离子体技术开发经验的纽曼和瑞微波技术有限公司，开发了基于固态微波源的微波等离子体化学气象沉积（MPCVD）装备、远程等离子设备（RPS），赋能高品质碳材料制备产业，半导体材料刻蚀和清洗等产业并实现国产化替代。
目前沃特塞恩产品已实现多产业应用布局，涉足应用包括材料制备，等离子体光源，半导体干法刻蚀、去胶设备，半导体清洗、工业微波化工、冶炼、加热、干燥，射频解冻，肿瘤微波消融、热疗和理疗、等离子体美容等医疗设备、以及科研和医疗粒子加速器、ECR离子源等应用。
| 频率 | 13.56MHz | 功率 | 3kW |
|---|---|---|---|
| 射频开关幅度过冲持续时间 | 0.1mS |
成都沃特塞恩电子技术有限公司研发生产的这款13.56MHz/3kW全固态射频电源采用全固态射频功放技术，工作频率范围为13.56MHz，功率范围从2W至3KW，是为半导体生产制造新一代功率源。其主要由电源模块、射频发生器、射频放大器、控制系统、接口模块以及冷却装置等6大部分构成。
沃特塞恩固态射频电源具有能耗低、体积小、寿命长、性能稳等优点。
> 频率源采用 DDS 直接数字频率合成技术，频率稳定度高；
> 射频电源有着很好的功率稳定度；
> 适应多种驻波比的负载；
> 拥有完善的保护电路，保证射频电源可靠运行；
> 电源功放使用贴片型半导体三极管制作，寿命比传统分立式三极管更长；
需要更多产品详情请联系我司销售！
成都沃特塞恩电子技术有限公司研发生产的这款13.56MHz/3kW全固态射频电源采用全固态射频功放技术，工作频率范围为13.56MHz，功率范围从2W至3KW，是为半导体生产制造新一代功率源。其主要由电源模块、射频发生器、射频放大器、控制系统、接口模块以及冷却装置等6大部分构成。
沃特塞恩固态射频电源具有能耗低、体积小、寿命长、性能稳等优点。
> 频率源采用 DDS 直接数字频率合成技术，频率稳定度高；
> 射频电源有着很好的功率稳定度；
> 适应多种驻波比的负载；
> 拥有完善的保护电路，保证射频电源可靠运行；
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