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  • 公司名称东莞燕园半导体科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       号YYZKTGL
  • 所  在  地
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/4/20 10:49:46
  • 访问次数205
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北京大学东莞光电研究院是北京大学与东莞市人民政府共同组建的事业单位,于2012年8月正式成立。研究院位于东莞市松山湖园区。 主要以第三代半导体材料与器件技术的研发为核心,正在逐步建设成为科技**、科技成果转化、高科技产业孵化和人才培养的基地,承担国家、省、市系列重大科研和产业化任务,为东莞市光电产业的发展提供强有力的技术支持。研究院建有半导体照明技术研发平台、激光显示器件技术研发平台、电子功率器件技术研发平台、光电精密仪器设备研发平台、光伏应用技术研发平台、公共检测服务平台。选择国际上光电领域核心技术前沿、应用广阔和产业化前景良好的项目,开展相关研究和产业布局。同时加强与国内高校特别是广东省内高校、企业开展多方面的合作,在东莞打造国际化的优异研发平台,吸引更多的国际**人才及项目落户东莞,形成国际化光电产业的研发、生产、销售的产业集群,为当地相关技术产业带来强大的推动力,促进形成新的经济增长点和国际化新型光电东莞的建设。
简单介绍 本款真空碳管炉是用高纯石墨作发热元件的立式真空电阻炉,供金属化合物、陶瓷、无机化合物、纳米材料等在真空或保护气氛中烧结制品。
腾博汇app 产品信息

技术参数

1.1额定功率: 50KW

2.2额定电压: 三相,380V

2.3加热器电压: 0-30V(单相)

2.4额定温度: 2300℃

2.5工作区尺寸: Φ90×120(mm)

2.6冷态极限真空度: 6.67x10-3Pa

2.7冷却水水压: 0.2~0.4Mpa

2.8冷却水要求: 水质按GB10067.1-88国标,总硬度CaO<10

2.9使用要求:海拔1000M以下、环境温度0-45度、湿度15%-85%

2.10保护气氛:1800-2200度高纯氩或高纯氮,2200度以上露点—60度的高纯氩

结构简介

3.1炉体 为立式炉壳,其内层为1Cr18Ni9做成的圆筒,外壳为碳钢经防锈处理。两层之间形成夹套可以通水冷却,将传到炉壳内壁上的热量带走。内外筒与上下法兰焊成一个整体,中间开有抽气孔、观察孔、热电偶孔等。

3.2炉体上部是炉盖,它是有内外封头和法兰焊成,中间可通水冷却炉盖,装有锁紧装置,松开锁紧,炉盖自动向后打开,手动推到*大后即可装卸工件。

3.3炉底部分也是有内外封头和法兰组成,中间通水冷却,固定在炉体下部,有电极引入,电极通水冷却。

3.4炉内隔热屏由石墨碳毡组成,*内层为石墨发热体,底部隔热屏由石墨组成。

3.5真空系统

它是由2X-30双级机械泵及真空阀等组成,真空阀门为手动大蝶阀及手动蝶阀,真空度测量由数显复合真空计执行。有关真空计的使用请参照真空计使用说明书,注意使用一段时间后,热偶规管会老化,其工作电流需重新标定,标定方法主要为高真空校低真空法。即当电离真空度小于 3 × 10 -2 Pa 时,低真空规管(热偶管)的指针应指向 0.1Pa 以上,否则应调整其工作电流了

3.6电气系统

调压控制柜上可控硅调压装置由旋动手动调节,也可自动控制,380V三相电源经过降压变压器,电压降到30V,然后经过电缆再送到电极上。

3.7水冷系统

冷却水由总管进入,经过各支管送到炉壳、炉盖、炉底、电极、扩散泵和机械泵等需要冷却的地方,然后汇总到水箱排出。每路冷却水都有手动阀门,可以按照需要调节流量大小。进水管上设有电接点压力表,当水压低于0.1Mp时,可自动切断加热器。

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