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  • 公司名称青岛赛尔微电子有限公司
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  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/6/6 10:28:20
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青岛赛尔微电子有限公司是集科研、开发、制作和服务为一体的企业,公司与多所高校和研究机构有着密切的合作,并与一些半导体厂达成技术合作关系,主要从事半导体行业和太阳能行业高精度控制系统及设备的设计、制作与维护服务。公司的技术人员都是有着多年行业经验的精英,对微电子工艺流程有深入的研究,能为设备运行中可能出现的问题提供有效的预防措施措施。目前公司已推出SHARE-100系列、SHARE-2000系列、SHARE-2008系列、SHARE01-碳化硅漏电保护仪系列、SHARE氢气尾气处理系列、SHARE氢氧合成保护系列等具有自主知识产权的专用产品,可满足扩散炉、真空炉、链式炉、退火炉、LPCVD、热处理炉等设备的高精度控制和辅助安全,广泛应用于新设备的制造和旧设备的改造。其控制精度、可靠性、工艺操作等各项指标均达到或超过国内同类产品,可与国外同类产品相媲美。
热处理炉
从结构上分为卧式、立式、箱式,从真空度上分为低真空、高真空,从使用温度上分为低温、高温,从真空室材料上分为石英管、耐热不锈钢管,从真空获得上分机械泵、机械泵+扩散泵、机械泵+分子泵
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从结构上分为卧式、立式、箱式,从真空度上分为低真空、高真空,从使用温度上分为低温、高温,从真空室材料上分为石英管、耐热不锈钢管,从真空获得上分机械泵、机械泵+扩散泵、机械泵+分子泵。
设备用途:广泛用于电力电子器件、玻封二级管、气体放电管、磁性材料、热敏电阻等器件的真空烧结、封装、焊接、合金、退火等工艺。
主要技术指标:
工位: 单、双、三工位
工作温度: 3001100℃(不锈钢真空室1000℃)
真空度: 优于5×10-3 Pa
真空室直径:Φ150300 mm
恒温区长度:4001000 mm
控制精度: ±1.03.0
炉体移动速度:0400 mm/min
充气压力:0.5 MPa (不锈钢真空室)
加热功率: 1080 KVA
安全连锁保护:超温、断偶、缺水、压力异常保护报警

可根据用户要求配数字真空计和电动放气


关键词:电子器件
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