从结构上分为卧式、立式、箱式,从真空度上分为低真空、高真空,从使用温度上分为低温、高温,从真空室材料上分为石英管、耐热不锈钢管,从真空获得上分机械泵、机械泵+扩散泵、机械泵+分子泵。 设备用途:广泛用于电力电子器件、玻封二级管、气体放电管、磁性材料、热敏电阻等器件的真空烧结、封装、焊接、合金、退火等工艺。 主要技术指标: ◆工位:单、双、三工位 ◆工作温度:300~1100℃(不锈钢真空室1000℃) ◆真空度:优于5×10-3 Pa ◆真空室直径:Φ150~300 mm ◆恒温区长度:400~1000 mm ◆控制精度:±1.0~3.0℃ ◆炉体移动速度:0~400 mm/min ◆充气压力:0.5 MPa(不锈钢真空室) ◆加热功率:10~80 KVA ◆安全连锁保护:超温、断偶、缺水、压力异常保护报警