万博狗万
型号: MA6
厂家: 德国Karl Süss公司
技术指标:
曝光光源:UV1000
光源波长:365nm
光源均匀性:<3.1%
晶片尺寸:2-6英寸
接触方式:真空,低真空接触, 硬接触, 软接触和接近式接触
对准模式:正和背面两种对准方式
最小线宽:0.5 μm
对准精度: ±0.5 μm
主要功能及应用范围:
采用紫外光源,制作亚微米(最小线宽0.5 μm)的图形。可用于各种微器件的制作和低维人工结构的形成,如制作下列器件结构:微电子器件,光电子器件,生物传感器,微机电系统,超导电子学器件,磁电子学器件等,也是研究材料在低维度、小尺寸下量子行为的重要辅助工具。
主要附件: 涂胶机;HP8热板;显影机,光学显微镜