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  • 公司名称芯米（厦门）半导体设备有限公司
  • 品       牌
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  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/6/17 16:24:08
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源于中国台湾团队25年经验的专业黄光微影制程工艺及设备研发，结合、中国台湾机构、PLC电控、PC影像处理等各方面精英所组成，拥有8项国际发明及27项实用新型及外观设计。专营产品晶元制造黄光制程Coater and Developer（涂布显影设备）系列，包括温湿度控制机、供酸系统、光阻PUMP等配套设备，及国外机型的零件开发、工艺升级、设备改造服务等。
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赠送彩金最多的APP 产品信息
  • 基片尺寸
    ψ50mm～ψ200mm
  • Cassette 晶舟
    2-4个晶舟
  • Coater Unit 涂胶单元
    1、PR类型：正胶/ 负胶 ；2、光刻胶喷头 2 ~ 4 个； 3、EBR ( Edge Bead Remover )； 4、马达旋转速度 Max. 6,000rpm； 5、高精度定量泵浦≦0.1cc ( 100cp以下)
  • Robot Arm 机械手臂
    3轴; X1, X2, X3
  • Hot Plate热盘单元
    溫度50℃-180℃
  • Cooling Plate冷盘单元
    溫度18-28℃
  • 显影机基片尺寸
    ψ50mm～ψ300mm
  • Developer 显影单元
    1、可应用喷头 Spray, Stream, E2 , H ；2、马达旋转速度 Max. 5,000rpm
  • 显影机台尺寸
    D(1200+1820)XW1700XH2300(mm)
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