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INFICON SKY CDG025D 电容式隔膜 真空计 系列的高精度、温度补偿型压力计,可以在恶劣的生产加工环境中提供稳定的性能。高级数字电子元件可提高仪表性能, 且易操作, 例如一键归零功能和设定点调整。防腐蚀陶瓷传感器具的零点稳定性出色,预计寿命可达到数百万个加压循环,包括突发大气压。的传感器屏蔽(申请中)可防止仪表被过程污染。坚固的机械设计和数字电子元件可以改进电磁兼容性 (EMC)、长期稳定性和温度补偿。CDG025D 为开机后快速稳定以及从气压中快速恢复的功能树立了新的标准。
好处
●从 100 mTorr 至 1000 Torr 的满刻度量程
●电源接通后快速稳定
●暴露于大气压后快速恢复
●防腐蚀陶瓷传感器
●的长期信号稳定性
●温度补偿
●传感器受防污染保护
●一键调零功能
●宽范围电源
典型应用
●用于蚀刻、CVD、PVD 和 ALD 的半导体制造设备
●数据存储和显示器制造设备
●工业真空设备
●经济、高度精确的压力测量
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