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M + 公司简介
爱姆加电子设备有限公司从事半导体工艺设备的设计、生产。产品系列有：匀胶机、显影机、卧龙电驱股吧 、全自动匀胶显影机、全自动显影机、半导体喷胶机、槽式（ Wet Bench ）及单片 (Single Wafer) 蚀刻 _ 剥离 _ 清洗设备、清洗甩干机、热板烘烤（ Hot Plate ）、自动涂胶显影机、自动砂轮划片切割等设备；以及开发研制、升级换代、维修服务。
| 依据配置表报价 | 面仪 |
|---|
特点：
手动上下取片
自动滴胶、甩胶、匀胶
供胶系统
排风系统
可配EBR&BSR功能
适用用圆片尺寸: 2”、3”、4”；以及5x5,10x10,25x25方片
工艺工步：放置圆片（可辅助定中心） 启动 防溅罩到上位 真空吸片 防尘帽闭合 电机启动 吹氮气 低速滴胶 加速、高速匀胶 上刮边 下刮边
电机停止 防尘帽开启 防溅帽到下位 去真空、卸片（工艺结束）以上各工步流程为自动执行，其中防尘帽、防溅帽、真空具有手动功能；
主轴径向跳动≤0.02mm，轴向窜动≤0.04mm；
主轴转速：200～7000转/分，误差±20转/分,连续可调；
主轴加速度（空载）：0～3×10³rad/秒²，连续可调；
工艺工步时间：0～999.9秒，设定增量±0.1秒；
滴胶量和速度可调
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