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| 对比项 | 大型波谱仪（WD XRF） | 小型能谱仪（ED XRF） | 高灵敏度X 射线荧光光谱仪 （HS XRF ®） | 说明 |
| 性能 | 高（满足《GB/T 176-2017 水泥化学分析方法》标准要求） | 一般（在轻元素钠、镁、硫、氯等元素难以满足《GB/T 176-2017 水泥化学分析方法》标准要求） | 高（满足《GB/T 176-2017 水泥化学分析方法》标准要求） | 能够精确分析钠、镁、铝、硅、磷、硫、氯、钾、钙、铁等元素，钢铁、水泥行业需求 |
| 投入成本 | 高 | 低 | 中 | |
| 维修成本 | 高 | 低 | 低 | X射线荧光光谱仪主要消耗和维修部件为光管、高压电源、真空系统、电路系统等 |
| 日常消耗 | 高（需要亚甲烷气体、真空系统） | 低（无需气体） | 低（无需气体和真空） | 耗电、气体、真空 |
| 环境要求 | 苛刻（需要严格控制室温、湿度、制冷等） | 低 | 低（对环境无苛刻要求） |
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