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发射源:预对中钨灯丝
分辨率:
3.0nm@ 30kV(SE);8.0 nm@ 3kV(SE)
放大倍数:5 ~ 1,000,000×(宝丽来相纸放大)
加速电压范围:200V ~ 30kV
探针电流范围:可达到2μA,连续可调
X-Ray工作距离:10 mm,EDS检出角:35°
样品室:内宽280mm,端口10个
样品台:五轴全自动马达驱动
☆ X=120 mm,
☆ Y=120 mm,
☆ Z=55 mm,
☆ T=-15o~90o,
☆ R=360o (连续旋转)
☆ 承重 10 kg
探测器系统:
☆ 高真空二次电子探测器ETD
☆ 可伸缩式背散射探测器BSED
☆ 样品室内红外相机CCD
☆ 图像导航彩色光学相机Nav-Cam+™
☆ 具有ChemiSEM技术的TrueSight X EDS 探测器
控制系统:
☆ 操作系统:Windows 10
☆ 图像显示:24寸LCD显示器,高显示分辨率1920×1200
☆ 支持用户自定义的GUI,可同时实时显示四幅图像
☆ 软件支持Undo和Redo功能
实时成分信息:同步扫描获取多种信号时执行能谱分析,实时检测形貌与元素信息;
成像平台即时可用:只需关注数据采集,不必忧虑电镜条件设置;
快速获得数据:多种成像和扫描策略,优化图像采集效果并提升系统处理能力;
灵活的样品台设计:全开门式设计,大样品可轻松加载到样品仓内,10 kg;
成像性能:提供低真空模式和电子束减速模式用于消除荷电效应。
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