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低温探针台 高温真空微型测试台 真空探针台主要应用于传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
低温探针台 高温真空微型测试台 真空探针台 承载台为60x60不锈钢台面，台面可升温到高 350 ℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为 X/Y/Z 三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节，其中 X 方向调节范围： 0 － 30mm ； y 方向调节范围： 0 － 20mm ； z 方向调节范围： 0 － 20mm ；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架 X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测
| 真空探针台 真空腔体 | |
| 腔体材质 | 304 不锈钢 |
| 上盖开启 | 铰链侧开 |
| 加热台材质 | 304 不锈钢 |
| 内腔体尺寸 | φ160x90mm |
| 观察窗尺寸 | Φ70mm |
| 加热台尺寸 | φ60mm |
| 观察窗热台间距 | 75mm |
| 加热台温度 | 35-350 ℃ |
| 加热台温控误差 | ±1 ℃ |
| 真空度 | 机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
| 允许正压 | ≤0.1MPa |
| 真空抽气口 | KF25 真空法兰 |
| 气体进气口 | 3mm-6mm 卡套接头 |
| 电信号接头 | SMA 转BNC X 4 |
| 电学性能 | 绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V |
| 探针数量 | 4 探针 |
| 探针材质 | 钨针 |
| 探针尖 | 10 μm |
| 探针移动平台 | |
| X 轴移动行程 | 30mm ±15mm |
| X 轴控制精度 | ≤0.01mm |
| Y 轴移动行程 | 13mm ±12.5mm |
| Y 轴控制精度 | ≤0.01mm |
| Z 轴移动行程 | 13mm ±12.5mm |
| Z 轴控制精度 | ≤0.01mm |
| 电子显微镜 | |
| 显微镜类别 | 物镜 |
| 物镜倍数 | 0.7-4.5 倍 |
| 工作间距 | 90mm |
| 相机 | sony 高清 |
| 像素 | 1920 ※1080像素 |
| 图像接口 | VGA |
| LED 可调光源 | 有 |
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