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首存送彩金平台有哪些KT-0904T-R
高温无氧化测试:
当晶圆加热至 300 ℃ ,400 ℃ ,500 ℃ 甚至更高温度时,氧化现象会
越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误
差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵
抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换,因为热胀冷缩现象,定位好的探针与器件电极间会有相对位移,这时需要针座的重新定位,探针座位于腔体外部,可以在不破坏真空度的同时调整探针达到理想位置进行测量。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。
首存送彩金平台有哪些KT-0904T-R L 参数
真空腔体 | |
类型 | 加热型 350 ℃ 或者加热制冷型 室温到 350 ℃ 室温到 -190 ℃ |
腔体材质 | 304 不锈钢 |
腔体内尺寸 | φ 90x40mm |
腔体上视窗尺寸 | Φ 42mm (选配凹视窗Φ 22mm ) |
腔体抽气口 | KF16 |
腔体进气口 | 公制 3mm 6mm 气管接头 英制 1/8mm 1/4mm 气管接头可选 |
腔体出气口 | 公制 3mm 6mm 气管接头 英制 1/8mm 1/4mm 气管接头可选 |
腔体正压 | ≤ 0.05MPa |
腔体真空度 | 机械泵≤ 5Pa ( 5 分钟) 分子泵≤ 5E-3Pa ( 30 分钟) |
样品台 | |
样品台材质 | 304 不锈钢 |
样品台尺寸 | 26X26mm |
样品台 - 视窗 距离 | 30mm (可选凹视窗间距 15mm ) |
样品台测温传感器 | A 级 PT100 铂电阻 |
样品台温度 | 室温到 350 ℃(可选高低温样品台 高温 350 ℃低温 -190 ℃) |
样品台测温误差 | ± 0.2 ℃ |
样品台变温速率 | 高温 10 ℃ /min 低温 5 ℃ /min 值 |
温控仪 | |
温度显示 | 7 寸人机界面 |
温控类型 | 标准 PID 温控 + 自整定(可选 30 段编程控温) |
温度分辨率 | 0.1 ℃ |
温控精度 | ± 0.5 ℃ |
温度信号输入类型 | PT100 热电阻 (可选 KSB 型热电偶) |
温控输出 | 直流线性电源加热(液氮流量线性控制液氮制冷) |
辅助功能 | 温度数据采集并导出 实时温度曲线 + 历史温度曲线 |
探针 | |
电信号接头 | 配线转接 BNC 接头 BNC 三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长 1.2 米 |
电学性能 | 绝缘电阻 ≥ 4000M Ω 介质耐压 ≤ 200V 电流噪声 ≤ 10pA |
探针数量 | 4 探针(可定做 6 探针) |
探针材质 | 镀金钨针 |
探针尖 | 10 μ m |
探针移动平台 | |
X 轴移动行程 | 12mm ± 6mm |
X 轴控制精度 | ≤ 5μm |
Y 轴移动行程 | 12mm ± 6mm |
Y 轴控制精度 | ≤ 5μm |
Z 轴移动行程 | 12mm ± 6mm |
Z 轴控制精度 | ≤ 5μm |
数码显微镜 | |
显微镜类别 | 物镜放大 + 电子放大 |
显微镜放大倍数 | 100 倍 |
显微镜工作间距 | 50-150mm |
相机分辨率 | 1080P60 帧 |
相机信号输出 | HDMI 输出 +USB 输出 |
LED 可调光源 | LED 光源 |
显示屏 | 5 寸 屏幕一体机 |
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