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产品介绍：
AFM5300E能够实现高真空的测试环境，限度减小样品表面吸附水对测试的影响，实现精确的物理特性测量。 真空环境下可以实现更大范围的温度控制。
（3857581号、3926638号）
●大气中 ●液体中 ●真空中 ●特殊气氛（流量控制）
●温度控制 加热・冷却(-120～300℃) 高温(室温～800℃)
●湿度控制(0～80%)
通过采用『综合型Holder Flange开合功能』，样品和扫描器更換更为方便的同时，免去了以往环境型SPM的样品更換后的所需的光轴调整。 也省去测试模式切换时的支架更換环节。
采用了『Swing Cancel功能』，减轻了样品的浮动，降低了漂移。提高了纳米分析性能，提升了可信度。
4. 通过减轻表面吸附水的影响，提高了电气性能的检测精度
真空环境下减轻样品表面吸附的水分和污染物的影响，因而实现高分辨高灵敏的电学性能分析。
产品规格：
| 分辨率 | 原子相 |
| 样品尺寸 | 20 mmφ、厚度10 mm (用配件厚度扩展至20 mm) |
| 样品移动范围 | X-Y stage 5 mm |
| 扫描范围 | 标准： 20 µm□/1.5 µmH |
| 150 µm□/5 µmH | |
| 15 µm□/1.5 µmH（闭环差控制）定位显微镜 | |
| 简易显微镜（×200倍） | |
| 光学显微镜（×1000倍） | |
| 变焦显微镜（×700倍） | |
| 金相显微镜（装有微分干渉）（×2000倍） | |
| 检测功能 | AFM（接触模式） |
| DFM（轻敲模式） | |
| PM（相位） | |
| FFM（摩擦） | |
| MFM（磁力） | |
| SIS模式 | |
| LM-FFM（横向摩擦） | |
| VE-AFM/DFM（粘弹性） | |
| Adhesion（吸附力） | |
| CURRENT（电流） | |
| SSRM（扩展抵抗） | |
| SNDM（非线性介电常数） | |
| PRM（压电响应）、KFM（表面电位） | |
| 液体中AFM/DFM | |
| EC-AFM/STM | |
| NanoIndentation（硬度） | |
| Nano-TA（微区加热） | |
| 选配件 | 高温加热样品台 |
| 加热冷却兼用样品台 | |
| 冷却真空 | |
| 温度控制 |
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