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“的SEM更为紧凑”
宽幅仅为45 cm的紧凑型的设计,仍具备4.0 nm的图像分辨率。
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FlexSEM 1000 II,凭借全新设计的电子光学系统和高灵敏度检测器,可在加速电压20 kV下实现4.0 nm的分辨率。全新开发的用户界面,具有亮度和对焦自动调节功能,可以在短时间内进行各种观察。此外,还搭载了全新的导航功能“SEM MAP”,这个功能可弥补电子显微镜上难以找准视野的缺点,实现最直观的视野移动。
*1 设置到桌面上时,请将机体与电源盒分离
*2 选项
小型高性能色谱柱
尺寸虽小,却具备同类产品中的分辨率。
金颗粒沉积
加速电压: 20 kV
倍率: 60,000 倍
信号: SE
分辨率: 4 nm
金颗粒沉积
加速电压: 20 kV
倍率: 50,000 倍
信号: BSE
分辨率: 5 nm
高画质
配备可优化放射电流的功能,以便在较低的加速电压下也能获得足够的亮度,而获得噪点小且清晰的图像。
储氢合金
加速电压: 5 kV
倍率: 30,000 倍
信号: SE 、无金属涂层
Al-Ni 复合材料
加速电压: 3 kV
倍率: 10,000 倍
信号: BSE 、无金属涂层
搭载GUI和自动调节功能,让初学者也能得心应手。只要按一下自动对焦(AFC)、自动亮度调节(ABCC)按钮,就可以获得的图像。(自动调节:与以往相比,缩短时间约13秒*3)当然,也可以通过触屏进行操作。
“SEM MAP”功能可有效实现观察时的视野搜索和样品定位。根据内置摄像头所拍摄的图像,定位样品,一键点击即可移动到观察部位。
在SEM MAP上导入的图像会自动进行粘贴,并以分布图的形式显示。
宽幅仅为45厘米,紧凑型设计,地减小占用空间。机体仅支持AC100 V 3P电源插座。此外,机体和电源盒可以分离,从而大幅度提升诸如桌面设置等的布局灵活性。
项目 | 内容 |
---|---|
分辨率*3 | 4.0 nm(二次电子像、加速电压:20 kV、高真空模式) 15.0 nm(二次电子像、加速电压:1 kV、高真空模式) 5.0 nm(背散射电子像、加速电压:20 kV、低真空模式) |
加速电压 | 0.3 kV~20 kV |
倍率 | ×6~×300,000 (照片倍率) ×16~×800,000 (显示器显示倍率) |
低真空设置 | 6~100 Pa |
电子枪 | 预对中钨灯丝电子枪 |
样品台 | 3轴马达驱动样品台 X:0~50 mm、Y:0~40 mm、Z:5~15 mm T:-15~90°、R:360° 可观察范围:直径64mm(R联用)*4 |
样品尺寸 | 直径80 mm(选配:直径153mm) |
样品高度 | 40 mm |
尺寸 | 机体:450(宽度)×640(进深)×690(高度) mm 电源盒:450(宽度)×640(进深)×450(高度) mm |
选项 |
|
软件 | Multi Zigzag(连续视野图像导入功能) |
* PC、桌子、监控器由客户准备
*3 机体和电源盒连接时候
*4 使用标准支架时
FlexSEM 1000 II 采用新型偏压系统,可在低加速电压下获得高放射电流。从而,在低加速电压下也能实现同类产品中的图像清晰度( S/N )。
利用SEM上4分割背散射电子检测器所获得的信号,可计算4个方向的表面形状,从而无需进行样品倾斜和视野对位,即可构建三维模型。
Hitachi map 3D支持多个国家的语言,具备用于调节样品位置的各种校正功能、以及可追溯测量过程的测量系统、符合ISO标准的表面粗糙度(面粗糙度、线粗糙度)的测定、此外还包括表面积、体积等其他测量功能以及报告输出等功能。
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