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高性能探测器:搭配高性能探测器,在检测多层合金、上下元素重复镀层及渗层时更加精准、稳定
变焦装置及
位置补偿算法:可对各种异性凹槽进行检测,凹槽深度测量范围可达0-30mm
自主研发EFP算法:Li(3)-U(92)元素的涂镀层,多层多元素,甚至有同种元素在不同层也可精确测量
高集成光路系统:搭配微聚焦一体的高集成垂直光路交换装置
的解谱技术:减少能量相近元素的干扰,降低检出限
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