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| P2001 | 腾达平台快速注册登录线路 | 腾达平台快速注册登录线路A/B |
| |  |  |
| 技术参数 | ||||||
| 测头类型 | P2001 | 腾达平台快速注册登录线路 | 腾达平台快速注册登录线路A | 腾达平台快速注册登录线路B | ||
| 测量范围 | ±0.5mm/ ± 0.020 ” | ±2.0mm/ ± 0.079 ” | ||||
| 上限位 | - | -2.2...0mm/-0.09...0 ” | ||||
| 下限位 | - | +2.2...4.4mm/+0.09...0.173 ” | ||||
| 提升/ 回退 | - | - | 真空提升 | 气压驱动（气压1bar ） | ||
| 在电子零点的测量力 | 0.75N/± 0.15N | 0.75N/± 0.15N | 0.75N/± 0.15N | 依据空气压力 | ||
| 测力增量 | 0.1N/mm | 0.2N/mm | 0.2N/mm | - | ||
| 灵敏度误差 | 0.3% | 0.3% | ||||
| 重复性误差fw | 0.15μ m | 0.1μ m | ||||
| 滞后性误差fu | 0.2μ m | 0.5μ m | ||||
| 灵敏度经过修正后的线性误差 | ||||||
| 在±0.1mm 量程内 | 0. 6 µm | - | ||||
| 在±0.5mm 量程内 | 1.5 µm | 0. 4 µm | 0. 4 µm | 0. 4 µm | ||
| 在±1.0mm 量程内 | - | 1.5 µm | 1.5 µm | 1.5 µm | ||
| 在±2.0mm 量程内 | - | 3 µm | 3 µm | 3 µm | ||
| 防护等级 | IP40 | IP64 | ||||
| 缆线长度 | 2.5m | |||||
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