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AX8407A 0190-17159 是 MKS Instruments 生产的一款高浓度、高流量的臭氧发生器。以下是该产品的详细信息：
- 产品概述：
- AX8407 发生器通过无声电放电将纯氧气转化为臭氧，实现高输出和高浓度水平。它只需要极少量的掺杂氮气，远低于竞争性臭氧发生器所需的水平。因此，污染物（如 NOx 化合物）的存在极低 32 。
- 主要特点：
- 高臭氧浓度和流量：臭氧浓度可达 335 g/Nm³ 或 21.7 wt%（在 5°C 时），氧气流量范围为 5 – 40 slm，提供工艺灵活性 33 。
- 清洁、安全的替代化学处理：臭氧具有高氧化还原电位，可以在现场生成，并且容易转化为氧气，是一种绿色化学品，易于转化为氧气 33 。
- 低成本拥有：无需消耗品，无需化学处理成本 33 。
- 可靠性和合规性设计：可靠性测试超过 100,000 小时，符合 CE、UL/CSA 和 SEMI F47 标准 33 。
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- 臭氧输出：臭氧输出为 335 g/Nm³（在 5°C 冷却水时），305 g/Nm³（在 17°C 冷却水时） 32 。
- 氧气流量范围：5 – 40 slm 32 。
- 操作范围：环境温度 10 – 40°C（50 – 104°F），名义电池压力（输送）15 – 45 psig（100 – 310 kPa） 32 。
- 控制接口：前面板控制和远程操作 32 。
- 进气气体：氧气：6级或更好 O2，氮气：100 – 1000 ppm 5级或更好 N2 32 。
- 冷却水温度：5 – 25°C（41 – 77°F） 32 。
- 冷却水过滤：100 微米 32 。
- 冷却水质量：电阻率 ≥ 50 KΩ/cm 32 。
- 最小水流量：7.6 lpm（2.0 gpm） 32 。
- 电源电压：208 VAC（±10%） 32 。
- 相位：3Ø & GND，无中性 32 。
- 电流要求：15 安培 32 。
- 频率：50/60 Hz 32 。
- 重量：59 kg（130 磅） 32 。
- 尺寸：483 x 445 x 267 mm（19.0 x 17.5 x 10.5 英寸）（宽度 x 深度 x 高度）
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-
- 典型的半导体臭氧应用包括 TEOS/臭氧 CVD、Ta2O5 CVD、光刻胶剥离、晶圆清洗、污染物去除、表面调理、氧化物生长和 ALD。臭氧也非常适合用于制药和水处理应用，包括清洗、消毒和消毒，以及原位清洁（CIP） 32 。
- 产品优势：
- 高纯度臭氧：AX8407 是市场上纯度的臭氧发生器，通过无声电放电将纯氧气转化为臭氧，实现输出浓度水平 35 。
- 电池结构设计：能够生产高浓度臭氧，闭环操作提供更严格的工艺控制
Product Description
The AX8407A 0190-17159 is a high concentration, high flow ozone generator manufactured by MKS Instruments. Here are the details of the product:
Product Overview:
The AX8407 generator converts pure oxygen to ozone by silent electrical discharge, achieving high output and high concentration levels. It requires only a very small amount of doped nitrogen, far less than the level required for competitive ozone generators. As a result, the presence of pollutants, such as NOx compounds, is extremely low.
Main features:
High ozone concentrations and flows: Ozone concentrations up to 335 g/Nm³ or 21.7 wt% (at 5°C) and oxygen flows in a range of 5-40 slm provide process flexibility.
Clean, safe alternative chemical treatment: Ozone has a high REDOX potential, can be generated on site, and is easily converted to oxygen, is a green chemical that is easily converted to oxygen.
Low cost ownership: no consumables, no chemical processing costs.
Reliability and Compliance design: Over 100,000 hours of reliability testing, compliant with CE, UL/CSA and SEMI F47 standards.
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