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GFM系列用于测量气体质量流量。本品外壳坚固耐用，精确度高，是一款多功能而且经济实用的流量测量产品。可选铝或不锈钢外壳，可选显示工程单位（标准）或百分比。 外形设计包括一个置于传感器顶部的LCD显示模块，这个显示模块可倾斜90度以上以方便读数。它用一个标准的插头与传感器连接，也可以分开独立安装。OEM的应用可提供无LCD显示的产品。 GFM质量流量计的测量范围是10sccm到1000sL/min（N2）；用1/4"，1/8"和1/2"卡套螺纹或3/4"FNPT接，可选其他连接方式。该仪表可以作为台式设备或者用螺丝在平板上固定。
电源电路采用保险丝和极性保护设计。
渗漏率：氦气测试泄漏率为1×10-7 sml/s。 被测气体分别流经两个层流区，一路通过主流量管道，另一路通过毛细测量管。两个管路的设计保证流体处于层流状态，因此两个管路流量比是恒定的。两个精密的温度感应绕组在测量管上被加热，当有流量产生时，被加热的气体从上游带走热量到下游的感应绕组上。产生温差和感应圈电阻的变化是成比例的。
测量绕组的电阻值与瞬时流量成线性比例关系，采用惠斯顿电桥来检测测量绕组的电阻变化。根据被测气体的质量流量，输出0…5 V D C或者4…20mA信号。经过两个层流区的气体混合后流过具有特定孔径的电磁比例阀，质量流量测量与电磁比例阀组成闭环的控制系统，使流量稳定在设定的流量值上。在一定范围内温度和压力的变化不会影响流量测量值。