天博和亚博是一家吗

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为微机械结构建模和设计，以及MEMS正在受到挑战，是由于微结构不同于大型结构。由于热效应，空气压力变化和边界条件的变化可能会引起振动模态从一个频率移到另外一个频率 。

由热效应和振动引起的静态变形的全场和实时信息的采集，显得非常重要。当面内位移和表面轮廓能够很好地被测量时，MicroMap 5010代表了为微结构进行的研究，开发和产品测试的完整和强大的测试工具。

MicroMap5010 是对微机械结构的动态和静态位移进行三维测量的激光型多功能测试系统。MicroMap 5010也可以用来测量结构轮廓。

MicroMap 5010 可以测量粗超和光滑的表面，小到245微米x330微米和高于3微米的空间分辨率。使用显微放大镜头来获取被测物的图像。MicroMap 5010 的工作距离比较长，测量可以通过窗口，热过滤器和镜面来完成。

于动态测量，MicroMap5010 使用所谓的时间平均原理，给出振动结构的幅值和相位可信的，全场数据。无需扫描性能，测试表面的所有点的数据采集是同时完成的。本底噪声幅值（RMS）可以地道0.01 纳米，频率可以到500 MHZ甚至更高。对于平面外测量，标准系统的频率范围可以到20MHZ，对于平面测量，标准系统的频率可以到50 KHZ。

对于准静态变形测量，MicroMap5010 可以测量和显示全场变形图，位移分辨率大约1nm,zui大位移量程是几个um 。对于标准系统，静态位移的采样率是30 HZ，较高的采样率也可以定制。

对于轮廓测量， MicroMap5010 使用平面镜作为参考物，测试物的轮廓和平面参考表面进行对比 。表面轮廓测量选项有些局限性，只有平滑和连续的轮廓可以测量，

跨度比较大的轮廓不可能测量的。

对于振动和准静态变形的平面测量，系统使用可选的带双照明光学头完成。平面测量只能针对粗超表面，光滑表面必须采用散光材料涂层，和系统里的平面模块一起使用。

   现代和界面友好的技术

经过考验的现代技术

当坐飞机时，可以采用MicroMap 5010的Macro版本对飞机的涡轮机进行测试。VibroMap 1000 和 MicroMap 5010两套系统都是基于现代干涉技术，这种技术普遍运用于航空，航天，汽车，音响，电子和MEMS工业领域。

界面友好

MicroMap5010和 VibroMap1000系统，无须太多时间的准备和调试就可以测试。这种技术可以产生交匙设备 ，操作者只要看着电视屏幕上，就可以看到信号的基本信息，对测量输出信号的有效性具有相当的自信。

天博和亚博是一家吗两种基本的操作模式

实时模式：

对于准静态变形测量和高达GHZ甚至更高频率的动态测量，采用实时模式 。使用实时模式，测量是每秒钟30次（标准）。位移图以半定量的方式呈现出来，也就是等位移边缘图，由激励频率，边界和载荷变化引起的位移变化可以在显示器里面立马显现。

Real time amplitude fringes

数字模式 ：

数字模式可以给出静态变形，振动幅值及相位的数字信息。对于振动测量，几秒钟到几分钟就可以记录620x480个测点的全场数字信号。对于准静态测量，数字模式的操作可以测得从时间 t 到 t+dt时间内的表面位移，dt 可以是几秒钟到几分钟。准静态测量，如果测试物在记录期间以有限的速度进行运动，则可以在一个时间段里连续跟踪和测量，

输出信号的可靠性高

操作的两种模式对于测量数据的有效性可以给出*的可靠性和自信。特别是当不希望的测试结果出现时，两种测试模式作为额外的测试时是有用的。如果测试数据以数字模式来呈现时，然后就没有机会来评估算法和计算的有效性。两种操作模式是MicroMap技术诸多优点中的其中之一。

_{Numerical 3D plot} Numerical line plot

标准配置 ：

• 平面外测量光学头和平面内测量的光学头

• 光学头的固定平台，包括高度调节

• 计算机

• 信号发生器

• 振动测量软件

• 静态变形测量和表面轮廓测量软件

•   物体夹持器和激励单元

MicroMap 5010 可用于三种测量形式：
0-500MHz 或以上的振动cesh测试；

静止变形测量；

全场测量

三维测量

MicroMap 5010 使用方法与VibroMap 1000相似.  MicroMap 5010 也可用于平面内反射的测量（但只能测量毛糙表面）。 Optonor MicroMap 5010 系统主要用途是微电子机械系统（MEMS)的分析如：压力传感器；旋转罗盘，加速度传感器，泵，阀等。

下面是一些VibroMap 5010测量的动画范例：