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韩国气体质量流量控制器 M3050V
气体质量流量控制器 M3050V ,采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量,无需温度压力补偿。气体质量流量控制器 M3050V 是一个可以手动设定或与电脑连接自动控制的气体流量的稳流装置,能在较宽的量程范围内快速而精确地控制气体流量。即使系统压力有波动或环境温度有轻微的变化,也不会影响其正常的工作。 韩国气体质量流量控制器 M3050V 产品亮点: |
- 类 型:MFC气体质量流量控制器 - 控制范围:25slpm ~ 50slpm (sccm:标准毫升/分 slpm:标准升/分) - 准度等级: ±1% F.S - 耐 压:≤90bar - 标准接口:0-5VDC,4-20mA可选 - 响应时间:≤2sec - 使用范围: 2~* for max range - 供电电源: +15~+28Vdc, 350Ma - 漏 率: 1 × 10-9atm · cc/sec - 气路连接: 1/4 ”SWG,1/8”SWG,3/8”SWG,1/4”VCR |
- 适用介质:所有气体(含腐蚀性气体和有毒气体) |
- 无需温度、压力补偿
韩国气体质量流量控制器 M3050V
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应用领域:
-分析仪器 -干刻(RIE/DRIE) -燃料电池
-生物技术 -气相色谱分析 -等离子刻蚀
-激光焊机 -混气配气系统 -微反应装置
-真空镀膜 -过程自动化 -石化工业
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