名称

内容

测量

范围

Z轴

（垂直）

160μm

X轴

（水平）

17.5mm

分辨率

Z轴

（垂直）

0．01μm/±20μm

0．02μm/±40μm

0．04μm/±80μm

测量

项目

参数

Ra   Rz==Ry(JIS)  Rq    Rt==Rmax

Rp   Rv   R3z     R3y   Rz(JIS)

Rs   Rsk   Rku    Rsm   Rmr

标准

ISO,ANSI,DIN,JIS

图形

支承率曲线，粗糙度轮廓，直接轮廓

滤波器

RC,PC-RC,Gauss,D-P

取样长度(lr)

0.25,0.8,2.5mm

评定长度（ln）

Ln=lr×n    n=1~5

传感器

测量原理

位移式差动电感

触针

天然金刚石，90锥角，5μm针尖半径

测力

<4mN

导头

硬质合金，滑行方向半径40mm

滑行速度

lr=0.25,   Vt=0.135mm/s

lr=0.8,    Vt=0. 5mm/s

lr=2. 5,    Vt=1mm/s

返回      Vt=1mm/s

示值误差

不大于±10%

示值变动性

不大于6%

电源

内置锂离子充电电池，用DC5V,800mA充电器充电

外形尺寸

158x63.5x46mm

重量

约300g

工作环境

温度：- 20℃~  40℃

湿度：<90% RH

储存运输环境

温度：- 40℃  ~  60℃

湿度：<90% RH

参 数

显 示 范 围

Ra,Rq

0.005μm  ~  16μm

Rz,R3z,Ry,Rt,Rp,Rm

0.02μm  ~  160μm

Sk

0  ~  *

S,Sm

1mm

tp

0 ~ *