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真空探针台

精密小巧按需定制集成化设计性能稳定

测试类型： R-T ，C-V， I-V，R-I，Cp-D,ε 测试

搭配仪器：源表、高阻计、直流低电阻测试仪、阻抗分析仪、半导体参数分析仪、

腔体 : 高真空腔体

样品台尺寸 :4 英寸

样品固定 : 弹簧压片

观察窗口 :6 英寸

观察窗口材质：蓝宝石（保证紫外光的透过性）

真空度 :2 帕

探针臂接口 :4 个探针臂接口

电学测试接口 :3 同轴 BNC*4 、 2 同轴 BNC*2\ 高压接口 10KV*1

辅助接口 : 真空接口、加热器接口、热电阻接口、液氮接口、保护气接口、表面温度热电阻接口 *2

制冷方式 : 液氮

温度范围 :-196 ℃ ~600 ℃

温控精度 : ± 0.1 ℃

稳定性 :-196 ℃ - 常温± 0.5 ℃、常温 -600 ℃± 0.2 ℃

外形 :650mm 长 *650mm 宽 *460mm 高

重量 : 约 100 千克

光学系统

显微镜类型 : 单筒显微镜

放大倍率 :20X-180X

移动行程 : X 轴行程 100MM  Y 轴行程 50MM  Z 轴行程 50mm

光源 : 外置 LED 环形光源

CCD:2800 万像素

显示器 :10 寸 LED

探针臂

X-Y-Z 移动行程 :20mm*20mm*20mm

结构 : 外置探针臂，真空波纹管结构

移动精度 :10 微米

探针组件

线缆 : 同轴线

接头类型 :SMA

漏电精度 :10fA

固定探针 : 夹紧固定

频率支持 :DC-67GHZ

针尖直径 :0.2 微米 /1 微米 /2 微米 /5 微米 /10 微米 /20 微米

高压组件

线缆 : 高压电缆 10KV

接头类型 : 香蕉头

其他组件

真空组件 : 机械泵

冷源组件 :10L 液氮罐

华测真空探针台/搭配源表高阻计等

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