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控制系统出于安全考虑要实现一系列联动互锁,对于极度危险的事件需停止设备供电;一般事件需将设备返回到安全状态――氮气吹扫,切断源供应,关闭加热器;轻微事件则报警并阻止任何一个危险性状态的发生,例如阻止加热器在没有冷却水流动的情况下被打开。本控制系统提供了一系列报警,如排风系统故障报警、气动执行压力过低报警、加热器故障报警、反应腔压力过高报警、反应腔温度过高报警、反应腔泄漏报警、冷却水流量过低报警、手套箱氨气浓度过高报警、设备门没有关闭报警、过滤器失效报警、电源电压过低报警等等,并针对不同的报警产生不同的动 作以提醒工艺人员:触摸屏上状态显示、红色指示灯闪烁、蜂鸣声响。
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