万喜堂app下载网页版 8寸晶圆显影机

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UNIXX DB20 型晶圆显影机是一款针对8寸及以下尺寸晶圆的半自动系统，系统可集成显影，清洗，干燥等模块，同时可用于方片显影，尺寸150mm*150mm。

n 产品特色

÷  适用 *的显影、清洗和干燥工艺

÷ 圆形晶圆可达  Ø200

÷ 方形衬底可达  150 x 150

÷ 防溅环 自动升降

÷ 具有  BSR 背部清洗功能

÷  配置 低接触离心力卡盘

÷ 可提供全自动系统

÷ 手动装 / 卸

÷ 适用所有半导体材料，如硅衬底、玻璃衬底、陶瓷衬底

÷   1x 输送臂，最多  6 条管路

÷ 不同类型的喷嘴

÷ 通过压力罐或泵系统供应化学液

÷ 具有摆动效果的旋转电机

÷ 不同化学液分离排放（ 1 、 2 或  3 向分离）

n 技术数据

÷ 衬底尺寸 : 可达  Ø200 mm 或  150 x 150 mm

÷ 电机转速 :  10.000 rpm ， 步长  1 rpm

÷ 电机加速 :  40.000 rpm/sec ， 步长  1 rpm/sec

÷ 步进时间 : 1 到  999.9 秒， 步长  0.1 秒