此款Z neox 5 3D刀具测量仪结合了高精度旋转模块和Z neox3D光学轮廓仪的*检测和分析功能在的位置上实现全自动地3D表面测量,并结合在一起,完成全表面的3D立测量。Zneox3D测量技术涵盖了广泛的尺度,包括轮廓变化(多焦面叠加技术)、亚纳米粗糙度(干涉测量技术)或需要更高横向分辨以及垂直分辨率(共聚焦技术)的临界尺寸。
可以在的位置进行全自动3D 表面测量,并将所有测量结果组合在一起完成全表面的3D立体测量
系统可以在尖锐边缘和关键表面上提供完整的形状信息
neox 5旋转台允许样品沿相反方向定位以使整个表面可见
系统将获取单独的测量值,然后将自动合并它们以获得完整 的3D立体测量