特 色 ① SU3900标配多功能超大样品仓,可应对大型样品的观察 | |
■样品台可搭载超大/超重样品 ● 通过更换样品提示,可防止由于与样品的接触而损坏设备或样品 ● 选配样品交换仓,可在主样品仓保持真空的状态下快速更换样品, 大大提高了工作效率 ● 具备样品台移动限制解除功能,提高了自由度* ● 红外CCD探测器,提高了样品台移动的安全性 ■ 支持全视野移动。SEM MAP支持超大样品的全视野观察 ● 与GUI联合,可配备样品仓室导航相机 ● 覆盖整个可观察区域 ● 支持360度旋转 | |
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■ 一个鼠标就能够轻松操作的简约GUI ■ 各种自动化功能 ● 自动调整算法经改良后,等待时间减少至以往的1/3以下(※S-3700N比例) ● 提高了自动聚焦精度 ● 搭载Intelligent Filament Technology(IFT) ■ Multi Zigzag,可实现多区域的大视野观察 ■ Report Creator,可利用获得的数据批量生成数据报告 | |
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■ 可满足多种观察需求的探测器 ● 搭载高灵敏度UVD*,支持CL观察 ● 高灵敏度半导体式背散射电子探测器,切换成分/凹凸等多种图像 ■ 配备了多功能超大样品仓,可以搭载多种配件 >万喜堂彩票app下载中心 万喜堂彩票app下载中心 万喜堂app下载 *配件 | |
① 多功能超大样品仓 万喜堂彩票app下载中心万喜堂彩票官网平台 | |
● 通过更换样品提示,可防止由于与样品的接触而损坏设备或样品 样品或者是超大样品,也能够轻松更换。
●样品交换仓*
● 具备样品台移动限制解除功能,提高了自由度* ● 红外CCD探测器*,提高了样品台移动的安全性
*配件 万喜堂app下载彩票● 与GUI联合,可配备样品仓室导航相机
●覆盖整个可观察区域 相机导航系统通过图像拼接功能可以实现大视野的SEM MAP观察。观察区域为直径130mm(SU3800)/ 直径200mm(SU3900),并且可以与样品台R一起联动,移动到大型样品的观察区域。
●支持360度旋转 SEM MAP操作界面可直观的显示样品与探测器的位置关系,因此在观察高度差大的样品时,可根据需求旋转样品台或 电子束来获得的观察分析位置,避免阴影效应造成的影响。
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② 各种自动化功能 万喜堂彩票最新网址万喜堂app下载体育真人搭载了简约UI,简单操作,如同触屏般直观。 ● 从移动样品台到样品观察,轻轻点击鼠标即可实现 ● 也可触屏操作 ● 主窗口为1280x960像素的大窗口 ● 可以切换显示模式,并且同时显示/拍摄两种不同的信号 万喜堂彩票app下载中心 ●自动调整算法经改良后,等待时间减少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)
●采用了新的算法,提高了自动聚焦精度
●搭载Intelligent Filament Technology(IFT)
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万喜堂彩票注册网站Multi Zigzag可以自动获取连续的视野。可以在不同的视野中拍摄多张高倍率图像,并使用Viewer功能拼接拍摄的图像,创建大视野图像。 *配件
●Report Creator,可利用获得的数据批量生成数据报告 创建的报告可保存为Microsoft Office®格式。保存的文件可通过Microsoft Office®进行编辑。 | |
③ 测试需求的应用解决方案,探测器 万喜堂彩票注册开户万喜堂彩票注册网站 ●搭载高灵敏度UVD*,支持CL观察
● 高灵敏度半导体式背散射电子探测器,切换成分/凹凸等多种图像。 | |
通过采用4分割+1单元的设计,对每个单元进行计算,无需倾斜样品,即可获得成分图像、3D图像以及4方向凹凸图像。由于探测器的设计十分精巧,且灵敏度高,实现了高分辨率和高信噪比。 | |
万喜堂app下载体育真人SU3900标配多功能超大样品仓,可应对大型样品的观察。
万喜堂彩票app下载中心SU3800/SU3900全新研发的SEM/EDS一体化功能,通过SEM操作界面即可完成测试位置确定、条件设置、样品分析以及 生成报告等一系列操作。通过SEM的全面控制,可以提高测试效率,减轻了操作人员的负担。
万喜堂彩票app下载中心Hitachi Map 3D可对SU3800/SU3900的5分割背散射电子探测器当中的4个不同方向的SEM信号进行演算分析,生成三维图像。支持2点间高度、体积和简易表面粗糙度(面粗糙度、线粗糙度)测量。可一次性接收四个不同方向的信号,因此,无需倾斜样品台或合成图像。 | |
万喜堂app下载SU3800 / SU3900搭载了IPI,可以将SEM图像传输到由美国Media Cybernetics公司开发的图像处理软件Image Pro。只需单击一下,即可将数据从SEM传输到图像测量软件。
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④ 观察分子案例 万喜堂app下载体育真人显示了锆石晶体在相同视野下的观察结果。在BSE图像中很难看清铬浓度的缓和偏差。但是,在CL图像中可以确认到暗 色区域是对应于错浓度较高的区域。
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⑤ 应用图例 金属材料
陶瓷材料
电子零件
生物/医药品
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规格
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ITEM | SU3800 | SU3900 | |
二级电子分解能 | 3.0nm(加速电压30kV、WD=5mm、高真空模式) | ||
15.0nm(加速电压1kV、WD=5mm、高真空模式) | |||
背散射电子分解能 | 4.0nm(加速电压30kV、WD=5mm、低真空模式) | ||
倍率 | ×5~×300,000(照片倍率*1) | ||
×7~×800,000(实际显示倍率*2) | |||
加速电压 | 0.3kV~30kV | ||
低真空度设定 | 6~650 Pa | ||
图像位移 | ±50µm(WD=10mm) | ||
样品尺寸 | 200mm直径 | 300mm直径 | |
样品台 | X | 0~100mm | 0~150mm |
Y | 0~50mm | 0~150mm | |
Z | 5~65mm | 5~85mm | |
R | 360°连续 | ||
T | -20°~+90° | ||
可观察范围 | 130mm直径(R并用) | 200mm直径(R并用) | |
可观察高度 | 80mm(WD=10mm) | 130mm(WD=10mm) | |
电机驱动 | 5轴电机驱动 | ||
电子光学系统 | 电子枪 | 中心操控式钨丝发射 | |
物像镜头光圈 | 4孔可动光圈 | ||
检测系统 | 二级电子检测器、高灵敏半导体背散射电子检测器 | ||
EDX分析WD | WD=10mm(T.O.A=35°) | ||
图像显示 | 自动光轴调整功能 | 自动光束调整(AFS→ABA→AFC→ABCC) | |
自动光轴调整(实时级别对齐) | |||
自动调整光束亮度 | |||
自动图像调整功能 | 自动亮度和对比度控制(ABCC) | ||
自动对焦控制(AFC) | |||
自动标记和焦点功能(ASF) | |||
自动灯丝饱和度调整(AFS) | |||
自动光束对准(ABA) | |||
自动启动(HV-ON→ABCC→AFC) | |||
操作辅助功能 | 光机旋转、动态聚焦、图像质量改善功能、数据输入(点对点测量、角度测量、文本)、预设放大、样品台位置导航功能(SEM MAP)、光束标记功能 | ||
配件 | ■硬件:轨迹球、操纵杆、操作面板、压缩机、高灵敏度操作低空探测器(UVD)、红外CCD探测器、摄像机导航系统■软件:SEM数据管理器外部通讯接口、3D捕获、装置台移动限制解除功能、EDS集成 | ||
配件(外部装置) | 能量散射X射线分析仪(EDS)、波长色散X射线分析仪(WDS)、 各种外部功能台(加热台、冷却台、牵引台) |
* 1.指正放大倍率为127 mm x 95 mm(4x5照片尺寸)的显示尺寸。 * 2.放大倍率为509.8 mm x 286.7 mm(1,920 x 1,080像素)的显示尺寸。 |