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万喜堂app下载彩票 日本YAMATO等离子清洗机V1500X

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产品型号V1500X

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更新时间：2024-03-20 15:41:09 浏览次数：152次

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产品简介

万喜堂app下载彩票 日本YAMATO等离子清洗机V1500X

详细介绍

万喜堂app下载彩票 日本YAMATO等离子清洗机V1500X：

V1500X
  • RIE / DP mode selectable
  • Aluminum chamber
  • For Magazine CSP/BGA
  • LCD Touch panel operation
  • Easy to set upparameterandoperation
  • Built in safetyfunctionwithEmergency stop switch

Specifications

Model V1500X
Plasmamethod RIE•DPmode
Electrode Parallelflatstageplate
Electrodematerial SUS-304
Chambertemperature Digitaldisplay
RFgenerator 100~1500W
Oscillation 13.56MHz
Controlsystem LCDTouchpanelwith PLC
Tuningmethod AutomaticandManual
Timer 1sec-9H59min59sec
Chambersize (W)600×(D)550×(H)600mm
Stage size (W)460×(D)400mm
Chambermaterial Aluminum
Reactiongas O2,Ar,CF4
Purge gas N2orDryair
Flow meter Mass flowcontrol2line
Vacuumpump 1,400L/min
Emergencystopswitch Pushtypeswitch
Gas port 2 pc(1/4"SUSswage- lock)
Purge port 1pc(1/4"SUSswage- lock)
Vacuumport 1pc(SUSNW40)
Externaldimension (W)900×(D)1,000×(H)1,700mm
Powersupply AC200/220/380V3phase 25A
Weight Approx.300kg

关键词：等离子清洗机

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