万喜堂彩票 WH-PXY-01 喷淋式显影机

产品简介

喷淋式显影机（WH-PXY-01） 是汶颢股份自主 开 发的具有独立知识产权的一款产品 ，针对光刻工艺中的显影过程而设计开发的，可以对5英寸以下规格的硅片进行程控式自动化显影。该设备可替代微流控芯片制作过程中的手动显影环节，克服了手动显影过程中的显影液加入量不可控、硅片显影时间不可控、同规格硅片间隔显影效果不可控，上减少操作人员人为因素导致的显影质量问题以及硅片的损坏 。

技术参数

² 转速： 0 ～ 400 RPM；

² 液量控制： 1 0 ～ 500mL；

² 适配硅片 / 芯片： 3 寸 、4 寸 、5 寸；

² 显影时间： 0 ～ 900s；

² 进液速度： 0 ～ 99%；

² 电源输入： AC220V±10V/50HZ；

² 功率： 1 00W；

² 重量： 20  kg；

² 外形尺寸： 410 （ W ） * 410 （ D ） * 3 5 0 （ H ） mm；

² 工作环境： 温度0 ℃ -40 ℃ ，相对湿度＜80 %；

特征图解

特征图解1

特征图解2

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