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SKY®CDG200D1...1000托/毫巴INFICONSKYCDG200D高温压力计是实现精确总压测量与控制的理想之选
INFICON SKY CDG200D 高温压力计是实现精确总压测量与控制的理想之选。CDG200D 真空计温度控制在 200 °C，具有的性能，适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 1 乇至 1000 乇满刻度范围内均可使用，带有所有常用类型的法兰和现场总线接口，能够提供 0 至 10伏、不受气体类型限制的线性压力信号。 INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜，具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 品质，成本效益，适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。
拥有成本更低，预热速度快 50%，节能，低功耗
易于集成，各种满刻度、法兰和接口，标配两个设定点
轻松一键调零或远程信号调零指令，可调零点偏移
诊断端口用于快速维修和维护
两年保修服务，加热概念和真空计保护延长了使用寿命
的信号稳定性和可重复性，即使是Z苛刻的等离子应用，都无需长期执行重新校准
合规性与标准： CE、EN、UL、SEMI、RoHS
用于刻蚀、CVD、PVD 和其他半导体制造过程
化学和腐蚀性高温过程
需要真空计保护的一般薄膜和真空过程
配备 EtherCAT 数字接口现在可用！
| 类型 | 1000 ... 500 Torr / mbar | 200 ... 1 Torr / mbar | |
|---|---|---|---|
| 精度 (1) | % of reading | 0.4 | 0.4 |
| 温度效应 | | | |
| 零点 | percent FS/°C | 0.005 | 0.005 |
| 满量程 | % of reading / °C | 0.02 | 0.02 |
| 压力，Z大 | kPa (absolute) | 400 | 260 |
| 分辨率 | percent FS | 0.003 | 0.003 |
| Z低读数 | percent FS | 0.01 | 0.01 |
| 建议的Z低读数 | percent FS | 0.05 | 0.05 |
| 建议的Z低控制压力 | percent FS | 0.5 | 0.5 |
| 温度 | | | |
| 运行（室内环境）(4) | °C | +10 … +50 | |
| 在法兰处烘烤 | °C | ≤200 | ≤200 |
| 贮存 | °C | –40 … +65 | –40 … +65 |
| 电源电压 | | +21 … +30 V DC or ±15 V (±5%) | +21 … +30 V DC or ±15 V (±5%) |
| 功耗 | | | |
| 加热时 | W | ≤25 | ≤25 |
| 运行温度 | W | ≤18 | ≤18 |
| 输出信号（模拟） | V (dc) | 0 … +10 | 0 … +10 |
| 反应时间 (2) | ms | 30 | 30 |
| 保护等级 | | IP 40 | IP 40 |
| 标准 | | | |
| CE 合规 | | EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS |
| ETL 认证 | | UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 | UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 |
| SEMI 合规 | | SEMI S2 | SEMI S2 |
| 电气连接 | | D-Sub, 15-pin, male | D-Sub, 15-pin, male |
| 设定点 | | | |
| 设定点数量 | | 2 (SP1,SP2) | 2 (SP1,SP2) |
| 继电器触点 | ≤30 | ≤30 | |
| 滞后 | percent FS | 1 | 1 |
| 诊断端口 | | | |
| 协议 | | RS232-C | RS232-C |
| 读数 | | pressure, status, ID | pressure, status, ID |
| 设置 | | set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset | set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset |
| 暴露于真空的材料 | | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L(3)) | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L(3)) |
| 内部容积 | | | |
| 内部容积 1/2'' 管 | cm³ (in.³) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) |
| 内部容积 DN 16 ISO KF | cm³ (in.³) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) |
| 内部容积 DN 16 CF-R | cm³ (in.³) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) |
| 内部容积 8 VCR® | cm³ (in.³) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) |
| 重量 | | | |
| 重量 1/2'' 管 | g | 837 | 837 |
| 重量 DN 16 ISO KF | g | 852 | 852 |
| 重量 DN 16 CF-R | g | 875 | 875 |
| 重量 8 VCR® | g | 897 | 897 |
| | | | |
| EtherCAT | | | |
| 协议 EtherCAT | | protocol specialized for EtherCAT | protocol specialized for EtherCAT |
| 通讯标准 | | ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" | ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" |
| 节点地址 | | Explicit Device Identification | Explicit Device Identification |
| 物理层 | | 100BASE-Tx (IEEE 802.3) | 100BASE-Tx (IEEE 802.3) |
| 数字功能读取 | | pressure, status, ID | pressure, status, ID |
| 数字功能设置 | | set points, filter, zero adjust, reset, DC offset | set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset |
| 过程数据 | | Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping | Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping |
| 邮箱 (CoE) | | SDO requests, responses and information | SDO requests, responses and information |
| EtherCAT 连接器 | | RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT | RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT |
| 电缆 | | shielded Ethernet CAT5e or higher | shielded Ethernet CAT5e or higher |
| 电缆长度 | m (ft.) | ≤100 (330) | ≤100 (330) |
| | | | |
| DeviceNet™ | | | |
| 协议 | | DeviceNet™, group 2 slave only | DeviceNet™, group 2 slave only |
| 数据率 | kBaud | 125, 250, 500 by switch or network programmable | 125, 250, 500 by switch or network programmable |
| 电缆长度 125 kbps | m (ft.) | 500 (1650) | 500 (1650) |
| 电缆长度 250 kbps | m (ft.) | 250 (825) | 250 (825) |
| 电缆长度 500 kbps | m (ft.) | 100 (330) | 100 (330) |
| MAC ID | | address 00 - 63 by switch or network programmable | address 00 - 63 by switch or network programmable |
| 数字功能读取 | | pressure, status, ID | pressure, status, ID |
| 数字功能设置 | | set points, filter, zero adjust, reset, DC offset | set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset |
| 技术规格 | | DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA) | DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA) |
| 设备类型 | | ''VG'' vacuum gauge | ''VG'' vacuum gauge |
| I / O 从属传讯 | | polling only | polling only |
| 真空计 D 型连接器的电源电压 | | +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W | +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W |
| 为微型连接器上的 DeviceNet 收发器提供电压 | | 24 V nom / <2 W (11 … 25 V) | 24 V nom / <2 W (11 … 25 V) |
| DeviceNet™ 连接器 | | microstyle, 5 pin, male | microstyle, 5 pin, male |
| CDG（模拟输出、CDG 电源电压、设定点）连接器 | | D-sub, 15 pin, male | D-sub, 15 pin, male |
| | | | |
| Profibus DP | | | |
| 波特率 | 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 | 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 | |
| 地址 | | address 00 - 125 by switch or network programmable | address 00 - 125 by switch or network programmable |
| 数字功能读取 | | pressure, status, ID | pressure, status, ID |
| 数字功能设置 | | set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset | set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset |
| Profibus DP 连接器 | | D-sub, 9 pin, female | D-sub, 9 pin, female |
| CDG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器 | | D-sub, 15 pin, male | D-sub, 15 pin, male |
(1) 25 °C 环境温度时非线性、滞后、可重复，运行 2 小时后不产生温度效应。
(2) 增加 10 … 90 % FS
(3) 18% 铬、10% 镍、3% 钼、69% 铁
, 环境温度 >40°C 可增大表面温度高于 SEMI S2 的规定值 
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