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万喜堂彩票注册开户 GSL-1100X-SPC-16M 小型磁控等离子溅射仪

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更新时间:2022-12-10 11:20:20 浏览次数:307次

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产品简介

GSL-1100X-SPC-16M是一款紧凑型的磁控等离子溅射仪,采用双旋片机械泵进行抽真空

详细介绍

GSL-1100X-SPC-16M 是一款紧凑型的磁控等离子溅射仪,采用双旋片机械泵进行抽真空。 一个磁控管与 Peltier 冷却装置安装在机器的顶部, ,这将提供强有力的溅射能源,产生更好和更快的涂层, 特别适用于金属靶材 , 比如铝,锌和镁 . 仪器中包含一个金靶和真空系统。

技术参数

工作电压

110V or 220V 50/60 Hz

输出功率

<2000W ( 包含真空泵 )

输出电压

  • 1600VDC
  • 电流: 50mA

样品室

石英罩: 160 mm Dia. x 120mm Height

样品载物台

  • 一个外径 50 mm 样品载物台
  • 溅射面积 : 45 mm




配件包括

  • 仪器中包含有一直联式双旋机械泵,可使反应腔体真空度达到10-2 torr
  • 用一个KF25 的波纹管把真空泵和仪器相连接
  • 可以选购一个循环水冷机 16L/min

可通入气体

通过针阀通入氩气,能实现更好的等离子 涂层

靶材

  • 标配靶材:
  • 包含: Au target: 50 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs
  • 可选靶材 : Pt target (47mm dia.x0.12mm, 4N)
    Ag target (47 mm dia. x 0.5mm, 4N)

外形尺寸

L360mm x W300mm x H380mm

重量

50 kg

质保期和质量认证

一年质保期,终身维护

CE Certified

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