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技术参数：

双倒置磁控管设计

量程：  1×10 -7  ~ 一个大气压

精度： 1×10 -6 ~1×1Pa     30% 读数

            1 ~1×10 4  Pa 15% 读数

            10 4  ~10 5  Pa 50% 读数

重复性精度： ±5% 读数

工作温度： 5~55 ℃

烘烤温度： 150 ℃

模拟输出： 0-10.5V

供电： 14.5~30V

单位 mbar ， Torr 可选

安装方向：任意

应用：

1）基本压力监视和控制，在蒸发和溅射

镀膜应用中从大气压到高真空。

2）一般真空测量 – 工业炉、建筑玻璃、

半导体、冰箱和空调。

3）分析和研发应用 – 质谱分析、

电子显微镜、医疗、眼科、光学和

高能物理

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