产品特点:
AL(智能漏率计演算)确保在全部测量范围内闪
电般的快速响应
可旋转显示器/控制界面和可选遥控手持控制器
提高操作的灵活性
产品应用:
INFICON UL1000 型氦检漏仪尤其适用于元件精确检漏的要求, 灵活性测试,高灵敏度,快速于精确的结果,快速启动,移动性和 系统的可靠性。
UL1000符合做微电子工业市场的要求。其特点从坚固的金属外 壳并带有适用于洁净室的轮子,还有I-CAL(智能化漏率计算系统) 的噪声抑制滤波,柔性均值算法和漂移抑制功能。可调用 防止氦气或工艺气体污染的保护性功能。涡轮分子泵的抽速和压缩 比可降低并消除氦污染。
应用:半导体工艺设备的维护,该设备本身带或未带有真空泵
工艺气体系统的检测与安装
元器件在组装前的漏率测试
要求高抽速、高灵敏度以及清洁测试条件的应用场合