仪器 主要 特点 :
l 采用VICI(Valco)公司的脉冲氦离子化检测器(PDHID),该检测器对几种杂质的检测限如下:
样 品 杂 质 | H2 | O2 | Ar | N2 | CH4 | CO | CO2 | Ne |
高纯氢 | - | 10ppb | 10ppb | 10ppb | 10ppb | 25ppb | 10ppb | - |
高纯氧 | 10ppb | - | 10ppb | 10ppb | 10ppb | 25ppb | 10ppb | - |
高纯氩 | 10ppb | - | - | 10ppb | 10ppb | 25ppb | 10ppb | - |
高纯氮 | 10ppb | 10ppb | 10ppb | - | 10ppb | 50ppb | 10ppb | - |
高纯氦 | 10ppb | 10ppb | 10ppb | 10ppb | 10ppb | 50ppb | 10ppb | 2-10ppm |
高纯二氧化碳 | 10ppb | 10ppb | 10ppb | 10ppb | 10ppb | 50ppb | 10ppb | - |
l 所选用的进样/切换阀均为进口吹扫型产品。
l 所有样品流路全部采用内抛光或经钝化处理的316L不锈钢管路,避免管路内壁吸附解吸引起的分析误差。
l 选用经特殊处理过的分子筛填料,避免氧气、一氧化碳非正常吸附所带来的分析误差。
l 仪器采用背压阀升压进样方式,除可减小进样信号波动外,还可在一定程度上提高分析的重复性及灵敏度。
l 载气,样品气均配有2um孔径的过滤器。
l 色谱工作站具有方法无限存储/调用功能,分析不同类型样品时可方便地切换分析方法。