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产品型号
品 牌
厂商性质其他
所 在 地 北京市
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更新时间:2023-08-26 13:52:24 浏览次数:369次
产品分类 品牌分类
混合进样器
微流控芯片加工设备
经营模式:其他
商铺产品:2条
所在地区:
KLOE微流控芯片光刻机/曝光机UV-KUB系列图片简介法国KLOE公司在光刻方面有着丰富的经验
万喜堂app下载老虎机 KLOE 微流控芯片光刻机/曝光机 UV-KUB系列
图片
简介
法国K LOE 公司在光刻方面有着丰富的经验,其研发的UV- KUB 系列光刻机是一种基于UV LED的曝光机系统,结构紧凑,可以直接放置在实验台上,能够处理可达直径4英寸的晶圆,兼容硬接触(接触式)或者软接触(接近式)工艺,可自动调整掩膜高度以适应不同的基板厚度,可使用365 nm或405 nm的光源,不需要预热,也不需要单独的冷却单元。另外,UV-KUB系列*的设计,保证了光源的准直性和均匀性,其zui小分辨率可达2μm,发散角小于2°
本系统适用于市面上常用的光刻胶,如AZ系列、Shipley系列、SU-8系列和K-CL系列。
规格参数
项目
UV-KUB 2
UV-KUB 3
最小分辨率
2 μm
光源波长
365 nm / 385 nm / 405 nm
365 nm
能量密度
25 mW / cm² ± 10 %
30 mW / cm² ± 10 %
热效应升温
<1°C
曝光时间
1s~18 hours
存储程序数量
10个
无限制
对准分辨率
/
<3 μm
外形尺寸
260 x 260 x 260 mm³
480 x 480 x 480 mm³
重量
8.2 kg
55 kg
显示屏
彩色触摸屏5.7 inches
彩色触摸屏15.6 inches
功能图解
UV-KUB 2型光刻机,是国际市场上一款采用UV-LED光源系统的光刻机,其配备了基于LED光源的光学头,使用寿命大大提高,结构小巧,性价比高,非常适合实验室应用。
UV-KUB 3是一款带对位功能的UV-LED曝光机,光源为365nm,其触摸屏和C CD 相机代替了传统的显微镜及双筒目镜,控制器提供了图像捕获、测量以及对齐坐标的记录等功能,可以实现预对准,这样,用户再通过操作手柄便能方便的进行对准操作。
应用系统
微流控芯片
M EMS 器件
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