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更新时间:2023-05-22 11:13:12 浏览次数:186次
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万喜堂app下载彩票光罩技术的GM超高精度影像式测量仪系列,为七海之光罩技术制造而成,此技术已获美国、中国台湾及大陆等地区的发明和创新
光罩技术的GM超高精度影像式测量仪系列,为七海之光罩技术制造而成,此技术已获美国、中国台湾及大陆等地区的发明和创新。此类机种的精度几乎不受机械误差及阿贝误差影响,尤其是X、Y轴行程在600mm × 500mm以上的机型,无论是XY轴向精度,还是XY平面坐标精度皆能在5μ内,其精准度比所有百万价值内的德国、日本或其它国外进口的机器更精准。
<0.002mm
700*650mm
0.001mm
750kg(包括机架)
3.5+5L/1000µm
20x-120x 30x-225x
3+5L/1000µm
0.65X-4.5X
600*500*200mm 1000*800*200mm
专用彩色1/3英寸高解析480TV线
1250*808*1680mm
旋转灯
600*500*100mm
811*1250*1680mm
sony芯片高解析彩色CCD
晶元光罩坐标系统
00级花岗岩
220V 50±5HZ
1KV
20±5℃ 1℃/h 2℃/24h 1℃/m
40%-70%
<30HZ
3-5KG均布
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