OAI是业内生产可靠并精密设备的MEMS,半导体,纳米技术,洁净室自动化和紫外线光测量的制造商。 OAI系统可同时用于研发和生产半导体,MEMS和微流体装置。从光罩对准和UV光源UV电力仪表,OAI是在同行业中的者超过40年。
OAI Series 6000 生产型曝光机
| 全面的曝光系统 ● 0.5μ 精确正面对准 ● 1μ 正反面对准 ● 高产量:170 WPH in 1st Mask Mode ● 均匀性优于±3% ● 适用于各种规格的晶片 ● 自动平衡补偿 ● 适用于工艺的重复性要求 ● 亚微米分辨率 |
OAI在MEMS和微流体装置方面的产品主要包括 :