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万喜堂app下载 DYX-640S自动匀胶显影机

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更新时间:2023-06-16 16:45:24 浏览次数:704次

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产品简介

该设备主要用于LED、MEMS、IC等行业标准晶圆匀胶、、显影、预烘工艺

详细介绍

该设备主要用于LED、MEMS、IC等行业标准晶圆匀胶、、显影、预烘工艺。

主要技术特点

采用星型布局形式,结构紧凑,效率高。

上/下片工位

铝制标准晶圆片盒,不变形、易转片。

双臂机械手

选用进口多关节双臂机械手,不仅具有较高的刚度、灵活性,而且传输速度快,定位精度高。

匀胶单元

匀胶腔采用进口PP材料制成,主轴电机采用进口定制的中空轴交流无刷伺服电机,保证旋转转速、加速度控制精度高,重复性、稳定性好。

显影单元

显影腔特殊结构设计可实现废液收集、气流控制等功能,使显影工艺条件达到。

冷/热板单元

冷板/热板单元是对晶圆进行预烘及冷却处理,晶圆与盘体为非直接接触方式,温度稳定、精度高。

主要技术指标

晶圆尺寸:4″、6″

机械手:1套

匀胶单元:2套

显影单元:2套

主轴转速:0~6000rpm,最小调整量:1rpm

转速精度:±1rpm(50~5000rpm)

主轴加速度:100~20000rpm/sec

胶液数量:2路

背洗功能:可选

去边功能:可选

光刻胶供给:精密胶泵

光刻胶供给量:1~10ml

光刻胶供给精度:±0.1ml

光刻胶粘度:≤1000Cp

光刻胶过滤:可选

显影液数量:2路

喷嘴形式:柱状或H型

供液方式:不锈钢压力罐

背洗功能:有(纯水)

热板数量:≤9套

温度范围:室温~180℃

最小调整量:0.1℃

加热方式:云母加热片加热

温度均匀性:±1℃@50℃~120℃、±2℃@120.1℃~180℃

增粘模块:可选

冷板数量:≤3套

冷却方式:厂务冷却水循环冷却

水温范围:18℃~30℃

外形尺寸:L1950mm×W1700mm×H1900mm

重量:1800Kg

关键词:机械手 伺服电机
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