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更新时间:2023-07-13 07:12:11 浏览次数:199次
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经营模式:其他
商铺产品:8条
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万喜堂app下载官方入口 BG-406系列曝光机主要用于中小规模集成电路、二极管、三极管、GPP器件、LED、电力电子器件、MEMS和其它半导体器件制造工艺中的对准和曝光
万喜堂app下载官方入口 BG-406系列曝光机主要用于中小规模集成电路、二极管、三极管、GPP器件、LED、电力电子器件、MEMS和其它半导体器件制造工艺中的对准和曝光。该系列曝光机包括4″、6″单/双面曝光机,可实现单/双面对准、单面曝光。
主要技术特点
对准工作台
对准精度搞,漂移小,精密楔形误差补偿机构实现三点找平,找平力小,延长掩摸版使用寿命。
曝光系统
采用柱体蝇眼透镜和高能力集光的椭球反射镜等精密光学件,具有较高的光强、均匀性、光学分辨率。
显微镜
显微镜像质清晰,观察舒适。
显微镜扫描系统
采用电机驱动,带动显微镜系统相对工作台的二维运动,完成显微镜观察和扫描。
控制系统
采用工业计算机总线系统,人机交互界面简洁直观,操作方便,同时提供个性化服务。
主要技术指标
性能名称
技术指标
工作台行程
X向
±5mm
Y向
Z向
8mm
θ向
±5°
适用基片尺寸
Max 6″(φ150 mm)
适用掩模版尺寸
Max 7″(175×175 mm)
顶部显微镜
放大倍率
CCD连续变倍40×~300×
扫描范围
50mm×50mm
调焦范围
物镜分离距离
28~90mm(4″晶圆)
75~150mm(6″晶圆)
对准精度
±0.5 μ m
底部显微镜
330×
物镜扫描范围X
50~140mm
物镜扫描范围Y
±12mm
±2 μ m
曝光光源
UV365,500W超高压汞灯
曝光面积
φ108mm
φ160mm
曝光分辨率
1.5 μ m(胶厚≤1 μ m正胶、真空接触)
光强
≥ 20mW/cm 2
曝光不均匀性
±3%(曝光面积φ108mm)
±5%(曝光面积φ160mm)
曝光时间
0~999s
整机功率
2KW
外形尺寸
1300mm×1100mm×1650mm
重量
350Kg
BG-401A曝光机
万喜堂app下载官方入口 BG-406系列曝光机
SB-402双面曝光机
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BG-401B曝光机(LED)
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