在线热偶真空计

在线热偶真空计

真空规应用场合：本真空规应用于工业应用、科研院所、半导体行业需要测量粗低真空的场合：一般真空压力测量。前级管道和粗低真空压力测量。气体回填测量和控制。质谱仪控制。启动高真空电离规。系统过程控制。检测异常压力，利用继电器设提供系统安|全措施 控制系统压力。PVD、CVD气相沉积镀膜硅单晶生长

技术指标:
测量范围： 100kPa～0.1Pa
测量精度：100KP～500Pa: 5%-3-500P～1Pa: 10%<1Pa: 20%
工作电压： 12-24VDC
功率： <1.5瓦
控制触点（可选组件）：2组 TTL级
通讯方式（可选组件）：RS485
模拟输出（可选组件）：隔离输出 4～20mA。

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