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精密行星减速机是由一组或多组行星齿轮组成。每组行星齿轮组合分C行星轮、B太阳轮、A外齿圈。行星减速机顾名思义，以太阳轮为中心，行星轮围绕太阳轮在齿圈上跑，就像行星围绕太阳在一个轨道自转，所以称之为行星减速机。

    行星减速机是一种用途广泛的工业产品，具有体积小，传动效率高，减速比多等特点，而被应用于伺服、步进、直流等传动系统中。其作用就是在维持精密传动的前提下，主要被用来降低转速增大扭矩和降低负载/电机的转动惯量比。

    太阳轮通过电机输入动力，带动行星轮在齿圈上转动，同时带动固定在3个或4个行星轮上的行星支架，输出减速增大后的力矩，增大的力矩根据减速比来的。

    行星减速机由一个内齿环(A)紧密结合於齿箱壳体上，环齿有一个自外部动力所驱动之太阳齿轮(B)，介於两者之间有一组由三颗齿轮等分组合於托盘上之行星齿轮组(C)该组行星齿轮依靠著出力轴，内齿环及太阳齿支撑浮游於期间；行星减速机当入力侧动力驱动太阳齿时，可带动行星齿轮自转，并依循著内齿环之轨迹沿著公转，行星之旋转带动连结於托盘之出力轴输出动力。

精密行星减速机由于一套行星齿轮-法--较大的传动比，有时需要二套或三套来--用户对较大传动比的要求。由于增加了行星齿轮的数量，所以二级或三机减速级的长度会有所增加，效率会有所下降。

精密行星减速机在高速机械往复运动中做到精确定位的关键在于尽量减少通过运动产生的角偏差。定位精度取决于两个值，一个是于加载有关的偏转角，涉及到回程间隙和扭转刚度；另一个是于运动控制有关的偏转角，涉及到同步偏差问题。