优质服务每一天 (PH-ASE 型 ) 把使用者从烦琐的手动调节样品高度和倾斜度工作中解放出来,样品对准是为了保证椭偏仪测量的可重复性和精确性。已获得的自动样品对准装置能够显著减少操作失误;能够工作于透明或反射基底;能够进行地貌图测量,包括翘曲晶片。
优质服务每一天 - 产品特点
■ 全自动样品校准
■ 高测量速率 <8 秒
■ 消除了全波段范围内的盲点
■ 可测量透明和吸收基底
■ 高测量精度
■ 具有实验数据和模拟数据三维绘图功能
■ 友好的软件界面,强大数据分析功能
■ 具有实验数据和模拟数据三维绘图功能
光谱椭偏仪 - 技术指标
■ 光源:氙灯
■ 光斑直径: 1-3mm
■ 入射角范围: 20° 到 90° 自动控制
■ 波长范围: 350-850nm , 250-1100nm , 250-1700nm : 0.002°~ 0.02°
■ 波长精度: 1nm
■ 测量时间 : <8s (取决于测量模式和粗糙度)
■ 入射角度精度: 0.01
光谱椭偏仪 - 可选配
■ CCD 线阵列探测元件: 200-850nm , 350-1000nm
■ 样品显微镜
■ 高稳定性消色差补偿器
■ 透射测量架
■ XY 移动样品台
光谱椭偏仪 - 典型客户
美国,欧洲,亚洲及国内太阳能及半导体客户。