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  • 公司名称南京诺旭微光电有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地南京市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/2/24 14:32:39
  • 访问次数251
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南京诺旭微光电有限公司自2009 年6 月成立以来,10多年来专注于中光学仪器的研发、生产、销售、 服务。公司有多年的光学市场销售经验和专业的服务团队。特别是在FPD平板显示及半导体行业有着非常成 熟的配套解决方案,能为客户提供合理、适用的显微光学检测方案。我公司同时拥有专业的光学设计师和经验丰富的维修工程师,有着完善的售后服务体系、能为客户提供更多快捷、方便、优质的服务。 公司主要产品有: 各种光学显微镜(测量显微镜、 金相显微镜、视频显微镜、体视显微镜),数码显微镜,2D影像测量仪,一键测量仪,三坐标测量机,3D共聚焦显微镜,扫描电镜,高速相 机,内窥镜,接触角测量仪,等离子清洗设备,特殊显微镜改造,显微镜配件,视觉 CCD 镜头及LED 光源等相关仪器。主要服务于半导体、液晶面板、探针台、MEMS、精密刀具、精密加工、金属材料、 光纤通讯、生命科学、高校、研究所等行业所涉及的显微检查、测量、分析。 经营理念:品质、服务、价值、共赢
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OLS50003D测量激光共焦显微镜配备的两套光学系统(彩色成像光学系统和激光共焦光学系统)让其能够获取彩色信息、高度信息和高分辨率图像
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OLS5000 3D测量激光共焦显微镜配备的两套光学系统(彩色成像光学系统和激光共焦光学系统)让其能够获取彩色信息、高度信息和高分辨率图像。
OLS5000 3D 测量激光共焦显微镜有4大关键价值:

  • 捕捉任意表面形状。
  • 快速获得可靠数据。
  • 使用简单 - 只需放置样品并按一下按钮即可。
  • 测量具有挑战性的样品。

价值1:捕捉任意表面形状。


OLS5000显微镜的*技术使其能够进行高分辨率的3D样品测量。

价值2、快速获得可靠数据



该显微镜的扫描算法既可提高数据质量又可提高速度,从而缩短您的扫描时间,简化您的工作流程,最终实现生产力的提升。

价值3、使用简单,只需放置样品并按一下按钮即可



LEXT® OLS5000显微镜具有自动数据采集功能,因而无需进行复杂的设置调整。 甚至生疏的用户也可以获得准确的检测结果。

价值4、可测量具有挑战性的样品



低输出、非接触式无损激光测量意味着不需要样品制备。可以在不损坏易损性材料的情况下对其进行测量。扩展架可容纳高达210毫米的样品,而超长工作距离物镜能够测量深度可达25毫米的凹坑。在测量这两类样品时,您只需将样品放在载物台上即可。

[ 获取彩色信息]
彩色成像光学系统使用利用白光LED光源和CMOS相机获取彩色信息。
[获取3D 高度信息和高分辨率共焦图像]
激光共焦光学系统采用405纳米激光二极管光源和高灵敏度光电倍增管获得共焦图像。浅焦深使其能够用于测量样品的表面不规则性。

[405 纳米激光光源]
光学显微镜的横向分辨率随着波长的减小而获得提升。采用短波长激光的激光显微镜相比采用可见光(峰值550纳米)的传统显微镜具有更优的横向分辨率。 OLS5000显微镜利用405纳米短波长激光二极管获得的横向分辨率。

[ 激光共焦光学系统]
激光共焦光学系统仅接收通过圆形针孔聚焦的光线,并非采集从样品上反射和散射的所有光线。这样有助于消除模糊,让其能够获得比普通显微镜对比度更高的图像

[X-Y 扫描仪]
OLS5000显微镜配有奥林巴斯光学扫描仪。通过将采用电磁感应MEMS谐振扫描仪的X轴与采用Galvano扫描振镜的Y轴相结合,能够让X-Y扫描仪定位于相对物镜瞳镜共轭的位置,因而能够实现具有较低扫描轨迹失真和较小光学像差的X-Y扫描。

[ 高度测量原理]
在测量高度时,显微镜通过自动移动焦点位置获取多个共焦图像。
根据非连续的焦点位置(Z)和检测光强度(I)可以估算每个像素的光强变化曲线(I-Z曲线),并获得其峰值位置和峰值强度。由于所有像素的峰值位置与样品表面的不规则性相对应,因此可以获得样品表面的3D形状信息。与此类似,通过峰值强度数据可以获得针对样品表面所有位置焦点的图像(扩展图像)。

主机规格:


型号

OLS5000-SAF

OLS5000-SMF

OLS5000-LAF

OLS5000-EAF

OLS5000-EMF

总倍率

54x - 17,280x

视场直径

16 μm - 5,120 μm

测量原理

光学系统

反射式共焦激光扫描激光显微镜
反射式共焦激光扫描激光-DIC 显微镜
彩色
彩色DIC

光接收元件

激光:光电倍增管(2ch)
色彩:CMOS 彩色相机

高度测量

显示分辨率

0.5 纳米

动态范围

16 位

可重复性 n-1 *1 *2 *6

20x : 0.03 μm, 50x : 0.012 μm, 100x : 0.012 μm

精度 *1 *3 *6

测量值 +/- 1.5%

拼接图像精度 *1 *4 *6

20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接长度 [μm])

测量噪声(SQ 噪声)*1 *5 *6

1 纳米

宽度测量

显示分辨率

1 纳米

可重复性 3 n-1 *1 *6

20x : 0.05 μm, 50x : 0.04 μm, 100x : 0.02 μm

精度 *1 *3 *6

测量值 +/- 1.5%

拼接图像精度 *1 *3 *6

20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接长度 [μm])

单次测量时测量点的数量

4096 x 4096 像素

测量点的数量

3600 万像素

XY 载物台配置

长度测量模块

工作范围

100 x 100 mm 电动

100 x 100 mm 手动

300 x 300 mm 电动

100 x 100 mm 电动

100 x 100 mm 手动

样品高度

100 mm

30 mm

30 mm

210 mm

140 mm

激光光源

波长

405 nm

输出

0.95 mW

激光分类

2 类 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014)

彩色光源

白光 LED

电气功率

240 W

240 W

278 W

240 W

240 W

质量

显微镜主体

约 31 公斤

约 30 公斤

约 50 公斤

约 43 公斤

约 39 公斤

控制器

约 12 公斤

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