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LEXT OLS4500纳米检测显微镜
为您带来的解决方案 从毫米到纳米 激光扫描显微镜和原子力显微镜的组合
实现纳米级观测的新型显微镜。不会丢失锁定的目标。
| （电动物镜转换器切换倍率和观察方法） | 有涵盖了低倍观察到高倍观察的4种物镜，并在电动物镜转换器上装配了SPM单元。可以无缝切换倍率和观察方法，不会丢失观察对象。此外，该款显微镜可以进行纳米级观测。 |
涵盖了低倍到高倍观察，并配有多种观察方法可以迅速发现观察对象。
可以完成低倍到高倍的大范围倍率观察。不仅如此，*光学技术打造的光学显微镜带来多种观察方法，可以容易的发现观察对象。此外，对于光学显微镜难以找到的观察对象，还可以使用激光显微镜进行观察。在激光微分干涉（DIC） 观察中，可以进行纳米级微小凹凸的实时观察。
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明视场观察（IC元件） 微分干涉（DIC）观察 激光微分干涉（DIC）观察
缩短从放置样品到获取影像的工作时间。
放置好样品后，所有的操作都在1台装置上完成。可以迅速，正确的把观察对象移到SPM显微镜下面，所以只要扫描1次就能获取所需的SPM影像。
一体机的机型，所以无需重新放置样品只要在1台装置上切换倍率、观察方法就能够灵活应对新样品。
| | OLS4500是把光学显微镜、激光显微镜、探针显微镜融于一体的一体机，所以无需重新放置样品，即可自由切换3种显微镜进行观察和评价。这3种显微镜各自持有优异的性能，所以能够高效输出结果。 |
OLS4500实现了无缝观察和测量
【发现】可以迅速发现观察对象
使用光学显微镜的多种观察方法， 迅速找到观察对象
OLS4500采用了白色LED光源， 可以观察到颜色逼真的高分辨率彩色影像。它装有4种物镜， 涵盖了低倍到高倍的大范围观察。OLS4500充分发挥了光学观察的特长， 除了使用的明视场观察（BF）以外， 还可以使用对微小的凹凸添加明暗对比， 达到视觉立体效果的微分干涉观察（DIC）， 以及用颜色表现样品偏光性的简易偏振光观察。此外， OLS4500上还配有HDR功能（高动态范围功能）， 该功能使用不同的曝光时间拍摄多张影像后进行合成， 来显示亮度平衡更好、强调了纹理的影像。在OLS4500上您可以使用多种观察方法迅速找到观察对象。
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| BF 明视场 | DIC 微分干涉 |
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| 简易偏振光 | HDR 高动态范围 |
使用激光显微镜，可以观察到光学显微镜中难以观察到的样品影像
OLS4500采用了短波长405 nm的激光光源和高N.A.的专用物镜， 实现了优异的平面分辨率。能以鲜明的影像呈现出光学显微镜中无法看到的观察对象。在激光微分干涉（DIC）模式中还可以实时观察纳米级的微小凹凸。
明视场观察（玻璃板上的异物） 激光微分干涉观察
【接近】迅速发现观察对象，在SPM上正确完成观察
实现了无缝观察，不会丢失观察对象
OLS4500在电动物镜转换器上装配了涵盖低倍到高倍观察的4种物镜， 以及小型SPM单元。在光学显微镜或激光显微镜的50倍、100倍的实时观察中， 由于SPM扫描范围一直显示于视场中心， 所以把观察目标点对准该位置后， 只要切换到探针显微镜， 就能够正确接近观察对象。因此， 只需1次SPM扫描就能获取目标影像， 从而能够提高工作效率并降低微悬臂的损耗。
不会在SPM观察中迷失的、可切换式向导功能
| | 使用探针显微镜开始观察之前， 可以在向导画面上设置所需的条件， 如安装微悬臂、扫描范围等。所以经验较少的操作者也能安心完成操作。 |
【纳米级测量】简单操作，可以迅速获得测量结果
新开发的小型SPM测头， 减少了影像瑕疵
| 新开发的小型SPM测头 | OLS4500采用了装在电动物镜转换器上的物镜型SPM测头。同轴、共焦配置了物镜和微悬臂前端，所以切换SPM观察时不会丢失观察目标点。不仅如此，新开发的小型SPM测头提高了刚性，所以与传统产品相比，减少了影像瑕疵并提高了可追踪性。 |
使用向导功能，自由放大SPM影像
使用向导功能， 可以观察时进一步放大探针显微镜拍到的影像的所需部分倍率。只要在影像上用鼠标指针设置放大范围并扫描， 就可以获取所需的SPM影像。可以自由设置扫描范围， 所以大幅度提高了观察和测量的效率。
向导功能在10μm×10μm影像上放大3.5μm×3.5μm范围
优异的分析功能， 应对各种测量目的
| 曲率测量（硬盘的伤痕） | OLS4500能够根据您的测量目的分析在各种测量模式中获取的影像，并以CSV格式输出测量结果。OLS4500有以下分析功能。
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跟从向导画面的指示， 可轻松操作的6种SPM测量模式
接触模式
控制微悬臂与样品之间作用的排斥力为恒定的同时， 使微悬臂进行静态扫描， 在影像中呈现样品的高度。还可以进行弯曲测量。
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动态模式
使微悬臂在共振频率附近振动， 并控制Z方向的距离使振幅恒定， 从而在影像中呈现样品高度。特别适用于高分子化合物之类表面柔软的样品及有粘性的样品。
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相位模式
在动态模式的扫描中， 检测出微悬臂振动的相位延迟。可以在影像中呈现样品表面的物性差。
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电流模式
对样品施加偏置电压，检测出微悬臂与样品之间的电流并输出影像。此外，还可以进行I/V测量。
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表面电位模式（KFM）
使用导电性微悬臂并施加交流电压， 检测出微悬臂与样品表面之间作用的静电， 从而在影像中呈现样品表面的电位。也称作KFM（Kelvin Force Microscope）。
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磁力模式（MFM）
在相位模式中使用磁化后的微悬臂进行扫描， 检测出振动的微悬臂的相位延迟， 从而在影像中呈现样品表面的磁力信息。也称作MFM（Magnetic Force Microscope）。
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装配了激光扫描显微镜，灵活应对多种样品
轻松检测85°尖锐角
采用了有着高N.A. 的专用物镜和专用光学系统（能限度发挥405 nm 激光性能），LEXT OLS4500 可以精确地测量一直以来无法测量的有尖锐角的样品。
| LEXT 专用物镜 | |
高度分辨率10 nm，轻松测量微小轮廓
由于采用405 nm的短波长激光和更高数值孔径的物镜， OLS4500达到了0.12 μm的平面分辨率。因此， 可以对样品的表面进行亚微米的测量。结合高精度的光栅读取能力和奥林巴斯的亮度检测技术， OLS4500可以分辨出亚微米到数百微米范围内的高度差。此外， 激光显微镜测量还保证了测量仪器的两大指标——“正确性”（测量值与真正值的接近程度）和“重复性”（多次测量值的偏差程度）的性能。
| 0.12μm行间距 | |
从大范围拼接影像中目标区域
高倍率影像容易使视场范围变小，而通过设置，OLS4500的拼接功能最多可以拼接625幅影像，从而能够获得高分辨率的大范围视图数据。不仅如此，还可以在该大范围视图上进行3D显示或3D测量。
可用于传统的线粗糙度测量，也可用于信息量较多的面粗糙度测量
| 近年来， 工业产品越来越趋于小型化和轻量化， 所以构成产品的各种部件也越来越精细化。随着这些部件的精细化， 除了形状测量以外， 表面粗糙度测量的重要性也日益提高。 |
在面粗糙度测量中详细掌握粗糙度的分布和特点
在非接触式表面粗糙度测量中， 除了线粗糙度还可以测量面粗糙度。在面粗糙度测量中可以掌握样品表面上区域内粗糙度分布和特点， 并能够与3D影像对照评价。OLS4500可以根据不同样品和使用目的， 分别使用激光显微镜功能或探针显微镜功能测量表面粗糙度。
激光显微镜的面粗糙度测量（105μm×105μm）焊盘 探针显微镜的面粗糙度测量（10μm×10μm）
OLS4500的粗糙度参数
参数兼容性
OLS4500具有与接触式表面粗糙度测量仪相同的表面轮廓参数，因此具有相互兼容的操作性和测量结果。
| 截面曲线 | Pp, Pv, Pz, Pc, Pt, Pa, Pq, Psk, Pku, Psm, PΔq, Pmr(c), Pδc, Pmr |
| 粗糙度曲线 | Rp, Rv, Rz, Rc, Rt, Ra, Rq, Rsk, Rku, Rsm, RΔq, Rmr(c),Rδc, Rmr, RZJIS, Ra75 |
| 波动曲线 | Wp, Wv, Wz, Wc, Wt, Wa, Wq, Wsk, Wku, Wsm, WΔq, Wmr(c), Wδc, Wmr |
| 负荷曲线 | Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2 |
| 基本图形 | R, Rx, AR, W, Wx, AW, Wte |
| 粗糙度 (JIS1994) | Ra(JIS1994), Ry, Rz(JIS1994), Sm, S, tp |
| 其他 | R3z, P3z, PeakCount |
适应下一代参数
OLS4500具有符合ISO25178的粗糙度（3D）参数。通过评估平面区域，可以进行高可靠性的分析。
| 振幅参数 | Sq, Ssk, Sku, Sp, Sv, Sz, Sa |
| 功能参数 | Smr(c), Sdc(mr), Sk, Spk, Svk, SMr1, SMr2, Sxp |
| 体积参数 | Vv(p), Vvv, Vvc, Vm(p), Vmp, Vmc |
| 横向参数 | Sal, Str |
OLS4500的显微镜技术
光学显微镜的原理和特长
明视场观察可以获取颜色信息。 纸张上的墨点 | 光学显微镜是从样品上方照射可见光（波长约400 nm到800 nm）， 利用其反射光成像， 能够放大样品数十倍到一千倍左右进行观察。光学显微镜的特长是可以真实观察彩色样品， 还可以切换观察方法， 强调样品表面的凹凸， 利用物质的特性（偏光性）进行观察。OLS4500上可以使用下述观察方法。 |
激光显微镜的原理和特长
可进行亚微米级观察和测量的激光显微镜（LSM:Laser Scanning Microscope)
| 激光显微镜的高精度XY扫描（示例） | 光学显微镜的平面分辨率很大程度上取决于所用光的光子和波长，采用短波长的激光扫描显微镜（LSM）比采用可见光的传统显微镜，拥 |
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| 激光显微镜采用短波长半导体激光和的双共焦光学系统， 会删除未聚焦区域的信号， 只将聚焦范围内的反射光检测为同一高度。同时结合高精度的光栅读取能力， 可以生成高画质的影像， 实现精确的3D测量。 |
探针显微镜的原理和特长
可以观察纳米级微观世界的探针显微镜(SPM:Scanning Probe Microscope)
| 探针显微镜的原理 | 探针显微镜（SPM）是通过机械式地用探针在样品表面移动，检测出探针与样品之间产生的力、电的相互作用，同时进行扫描，从而得到样品影像。探针曲率半径为10 nm左右。典型的探针显微镜是原子力显微镜（AFM），它通过检测探针和样品表面之间作用的引力和张力进行扫描并获得影像。探针显微镜能够观察纳米级微观形貌，可以捕捉到样品细的一面。 |
通过微悬臂扫描进行纳米观察
| SPM传感器光路图 | OLS4500上采用了光杠杆法——通过高灵敏度检测出最前端装有探针的微悬臂的微小弯曲量（位移）来进行观测的方法。在悬臂的背面反射激光，并用压电元件驱动Z轴，使激光照射到光电检测器的位置，从而正确读取Z方向的微小位移。 |
多种观察模式在影像中呈现表面形状和物性
| 高分子薄膜 | 探针显微镜拥有多种观察模式，可以观察、测量样品表面的形状，还可以进行物性分析。OLS4500配有以下模式。
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决定高精细度、高质量影像的微悬臂
探针位于长度约100μm～200μm的薄片状微悬臂的前端。您可以根据样品选择不同的弹簧常数、共振频率。反复扫描会磨损探针， 所以请根据需要定期更换微悬臂探针。
主机规格：
| LSM部分 | 光源、检出系统 | 光源：405 nm半导体激光、检出系统：光电倍增管 | ||
| 总倍率 | 108～17,280X | |||
| 变焦 | 光学变焦：1～8X | |||
| 测量 | 平面测量 | 重复性 | 100x : 3σn-1=0.02μm、50x：3σn-1=0.04μm、20x：3σn-1=0.1μm | |
| 正确性 | 测量值的±2%以内 | |||
| 高度测量 | 方式 | 物镜转换器上下驱动方式 | ||
| 行程 | 10mm | |||
| 内置比例尺 | 0.8nm | |||
| 移动分辨率 | 10nm | |||
| 显示分辨率 | 1nm | |||
| 重复性 | 100x :σn-1= 0.012μm、50x：σn-1＝0.012μm、20x：σn-1＝0.04μm | |||
| 正确性 | 0.2+L/100 μm以下（L＝测量长度） | |||
| 彩色观察部分 | 光源、检出系统 | 光源：白色LED、检出系统：1/1.8英寸200万像素单片CCD | ||
| 变焦 | 码变焦：1～8X | |||
| 物镜转换器 | 6孔电动物镜转换器 | |||
| 微分干涉单元 | 微分干涉滑片：U-DICR、内置偏振光片单元 | |||
| 物镜 | 明视场平面半消色差透镜5X LEXT专用平面复消色差透镜20X、50X、100X | |||
| Z对焦部分行程 | 76 mm | |||
| XY载物台 | 100 x 100 mm（电动载物台） | |||
| SPM部分 | 运行模式 | 接触模式、动态模式、相位模式、电流模式*、表面电位模式（KFM）*、磁力模式（MFM）* | ||
| 位移检出系统 | 光杠杆法 | |||
| 光源 | 659 nm半导体激光 | |||
| 检出设备 | 光电检测器 | |||
| 扫描范围 | X-Y： 30 μm x 30 μm、Z： 4.6 μm | |||
| 安装微悬臂 | 在盒式微悬臂支架上一键安装。使用微悬臂安装位置调整专用工装夹具预对位，更换支架时无需光学调整。 | |||
| 系统 | 总重量 | 约440 kg（不包含电脑桌） | ||
| I额定输入 | 100－120 V/220－240 V、600 VA、50/60 Hz | |||
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