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产品特点(*为选配件)
低电压
碳材料样品,低电压下,穿透深度较小,可以获取样品表面真实形貌,细节更丰富。
毛发样品,在低电压下,电子束辐照损伤减小,同时消除了荷电效应。
低真空
过滤纤维管材料,导电性差,在高真空下荷电明显,在低真空下,无需镀膜即可实现对不导电样品的直接观察。
大视场
生物样品,采用大视场观察,能够轻松获得瓢虫整体形貌及头部结构细节,展现跨尺度分析。
导航&防碰撞
特色功能
丰富拓展性:
扫描电子显微镜不仅局限于表面形貌的观察,更可以进行样品表面的微区成分分析。
SEM3200接口丰富,除支持常规的二次电子探测器(ETD)、背散射电子探测器(BSED)、X射线能谱仪(EDS)外,也预留了诸多接口,如电子背散射衍射(EBSD)、阴极射线(CL)等探测器都可以在SEM3200上进行集成。
背散射电子探测器
二次电子成像和背散射电子成像对比
背散射电子成像模式下,荷电效应明显减弱,并且可以获得样品表面更多的成分信息。
应用案例:
产品参数:
型号 | SEM3200A | SEM3200 | ||
---|---|---|---|---|
电子光学系统 | 电子枪类型 | 预对中型发叉式钨灯丝电子枪(灯丝电流3档可调,可显示灯丝更换时间) | ||
分辨率 | 高真空 | 3 nm @ 30 kV(SE) | ||
4 nm @ 30 kV(BSE) | ||||
8 nm @ 3 kV(SE) | ||||
*低真空 | 3 nm @ 30 kV(SE) | |||
放大倍率 | 1-300,000x(底片倍率) | |||
1-1000,000x(屏幕倍率) | ||||
加速电压 | 0.2 kV~30 kV | |||
探针电流 | ≥1.2μA,可实时显示 | |||
成像系统 | 探测器 | 二次电子探测器(ETD) | ||
*背散射电子探测器、*低真空二次电子探测器、*能谱仪EDS等 | ||||
图像保存格式 | TIFF、JPG、BMP、PNG | |||
真空系统 | 真空模式 | 高真空 | 优于5×10 -4 Pa | |
*低真空 | 5~1000 Pa | |||
控制方式 | 全自动控制 | |||
样品室 | 摄像头 | 光学导航 | ||
样品仓内监控 | ||||
样品台配置 | 三轴自动 | *五轴自动 | ||
行程 | X: 120 mm | X: 120 mm | ||
Y: 115 mm | Y: 115 mm | |||
Z: 50 mm | Z: 50 mm | |||
/ | R: 360° | |||
/ | T: -10°~ +90° | |||
能谱仪 | 能谱仪探测器 | 分析型SDD硅漂移电制冷探测器,有效面积≥30 mm 2 ,晶体面积≥50 mm 2 ,高分子超薄窗设计,无需液氮冷却,仅消耗电能 | ||
能谱仪能量分辨率 | Mn Ka保证优于129eV | |||
元素分析范围 | B5~Cf98 | |||
软件 | 语言 | 中文 | ||
操作系统 | Windows | |||
导航 | 光学导航、手势快捷导航、可自动叠加电镜图片 | |||
自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 | |||
特色功能 | 智能辅助消像散、*大图拼接(选配软件) | |||
安装要求 | 房间 | 长 ≥ 3000 mm,宽 ≥ 4000 mm,高 ≥ 2300 mm | ||
温度 | 20 ℃~25 ℃ | |||
湿度 | ≤ 50 % | |||
电气参数 | 电源AC 220 V(±10 %),50 Hz,2 kVA |
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