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  • 公司名称宁波润华全芯微电子设备有限公司
  • 品       牌
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  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/6/11 10:19:46
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宁波润华全芯微电子设备有限公司(ALLSEMI),简称ASI,位于文化底蕴丰厚、风景秀丽、交通便利的宁波余姚市,在北京、武汉和厦门设有*分支机构。
公司汇聚了一批高素质专业人才,致力于民族半导体装备产业的振兴,专注于新型电子器件生产设备的研发、设计、销售及售后服务。全芯公司与中国台湾、韩国多家公司合作,可提供整线设备解决方案和电子科技领域内的技术咨询服务。
公司通过ISO9001质量体系认证,秉承“专业、诚信、创新、共赢”的经营理念广泛服务于化合物半导体、LED、SAW、 OLED、光通讯、MEMS、*封装等新型电子器件制造领域, 配备了快速响应的销售和技术服务团队。
宁波润华全芯微电子设备有限公司将以*可靠的产品,优质的服务赢得客户信赖,成为一家具有国际影响力的半导体装备及工艺解决方案提供商。
显影机
设备采用高效机械手,重复定位精度高、产能高,自动完成匀胶、显影工艺;配备烘烤及冷却单元,工艺参数数字化检测控制,自由编制、修改、储存、调用工艺程序;故障、生产工艺参数等记录等可长期保存备查;操作简便,维修便利
云开体育平台官网入口下载苹果手机 产品信息
设备采用高效机械手,重复定位精度高、产能高,自动完成匀胶、显影工艺;配备烘烤及冷却单元,工艺参数数字化检测控制,自由编制、修改、储存、调用工艺程序;故障、生产工艺参数等记录等可长期保存备查;操作简便,维修便利。主轴电机采用进口交流无刷伺服电机,保证旋转转速、加控制精度高、重复性、稳定性好;光刻胶采用精密计量泵供应,精度高,供液稳定,出胶量设定方便。 晶片尺寸
2-6英寸,圆形及方形基片,光刻胶旋涂及显影工艺
主要技术参数
1、晶片尺寸: 2-6英寸
2、上下料方式: 高效机械手自动传送
3、离心机转速
     额定转速: 6000 rpm
     加速度: 30000rpm/s
     最小调整量: 1rpm
     转速精度:  ±1rpm(50 rpm~6000 rpm)
4、吸盘(Chuck)
     夹持方式: 真空吸附
     吸盘真空检测: 数显真空压力传感器
5、 收集杯材质(CUP): PP,气液分离排放 ,腔体底部倾斜式曲面、废液、排风分离
6、 CUP自动清洗功能: 有(与预清洗RINSE为同一管路)
7、 CUP结构: 4层CUP,增加导流层
8、 电机漏液防护功能: 有
9、 光刻胶/显影液过滤: 有,0.1um/0.2um可选;FFU可选配氨分子过滤装置
10、 热/冷处理单元: 可选升降过程可控的顶针结构实现渐进式加热/冷却过程
普通热板温控: 50.0—120.0℃;  ≤±0.6℃
                       150.1—180.0℃; ≤±0.8℃
高精度热板温控:50.0—90.0℃;   ≤±0.5℃
                          90.1—120.0℃;  ≤±0.6℃
                         120.1—150.0℃; ≤±0.7℃
冷板温控: 20.0—25.0℃;≤±0.1℃
11、HMDS:  可选,渐进式加热/降温可选
12、光刻胶供应: 采用高精度气动/电动计量泵
13、显影液供应: 采用N2加压
14、药液温控: 20℃~25℃  ±0.1℃; 水浴恒温
15、滴胶精度:±0.1ml ;回吸精度:2±0.5mm;滴胶范围:0.6-3ml
16、光刻胶胶嘴:数量≤3,粘度≤10000CP,可选配BARC。胶嘴自动清洗/胶嘴保湿功能
17、预清洗胶嘴: RRC RINSE 1个
18、工作方式: 自动供胶,自动显影,自动取送片,连续传片1000片无碎片
19、恒温恒湿控制:可选精密温湿度控制器   (THC)
20、边缘曝光WEE单元:365(I-line);照射范围0.5~10mm;UV 照射:linear/ Round
21、与光刻机联机:可选择interface接口,与光刻机进行联机
22、颗粒度控制: 空跑运行测试,新增颗粒≤20颗(0.2um)
23、匀胶膜厚均匀性:Wafer ≤1% ; Wafer to Wafer≤1%  (Max-Min)/(2*均值)
24、显影CD均匀性: within Wafer≤3%,Wafer to Wafer≤3% (Max-Min)/(2*均值)
应用行业
广泛服务于半导体、LED、封装、MEMS、OLED、SAW、光通信、科研等领域
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