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体育综合726

参考价 1000000- 2000000/件
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称广东骏楠光子科技有限公司
  • 品       牌其他品牌
  • 型       号DALI-A/B
  • 所  在  地广州市
  • 厂商性质生产厂家
  • 更新时间2023/8/18 11:33:22
  • 访问次数2219
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广东骏楠光子科技有限公司立足于国内科研,与国内优秀的科研人员一道共同研发实验技术和实验设备。目前已经研发一款适用与大组织成像的光片显微镜,并代理了推广基于光-声成像技术,可在活体上显微成像的光-声小动物成像仪,以及无掩模的光刻技术。
我们秉承贴近一下科研,服务科研,不断创新,提供良好的售后。让科研老师用得省心,用得放心。







高速动态扫描光片显微系统 光-声小动物成像仪
DALI是由Aresis、CENN Nano center 和 LPKF 联合研发的高精度无掩膜纳米光刻机,是一款性能稳定,操作简单,对环境要求低,界面友好,零维护的桌面型高精度激光直写设备。其采用的是AOD声光调制器来控制激光进行高精度光刻,可以实现优于80nm平滑的边缘结构,100-150nm最小结构间距,400nm套刻精度,是实验室级微纳加工与器件制作专业设备。
体育综合726 产品信息

DALI是由Aresis、CENN  Nano  center  和  LPKF  联合研发的高精度无掩膜纳米光刻机,是一款性能稳定,操作简单,对环境要求低,界面友好,零维护的桌面型高精度激光直写设备。其采用的是AOD声光调制器来控制激光进行高精度光刻,可以实现优于80nm平滑的边缘结构,100-150nm最小结构间距,400nm套刻精度,是实验室级微纳加工与器件制作专业设备。DALI凭借优异的性能,目前已广泛应用到微电子、微器件、纳米光学、材料科学、自旋电子学等研究领域。


*的AOD技术,定位分辨率优于0.1nm

  • A. 可以获得任意平滑、锐利的结构边缘

  • 1660753138558376.jpg

  • B. 可高分辨调整特征结构间的距离

  • 1660753321812584.jpg

  • C. 可以实现亚微米级精细结构的构建

  • 1660753355940409.jpg


主要特点:

# 最小特征结构小于1μm

# 针对I-line光刻胶进行优化(SU-8,AZ,……)

# 超快与超高精度定位,光斑定位分辨率<1nm

# 可构建高深宽比结构(可达10:1)

# 12nm-1 μm光斑间距调节以获得超高平滑度

# 100-150nm 最小结构间距

# 400nm套刻精度

# 适用于从CAD设计到各种结构的快捷构建

# 具备非平表面直写能力

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