高温退火炉 返回列表页

一、高温退火炉的 设备优势

高速加热与冷却方式

高能量的红外灯和镀金反射方式允许高速加热到高温。同时炉体可配置水冷系统，增设气体冷却装置，可实现快速冷却。

温度高的精度控制

过红外镀金聚焦炉和温度控制器的组合使用，可以精que控制样品的温度（远比普通加温方式）。此外，冷却速度和保持在任何温度下可提供高的精度。

不同环境下的加热与冷却

加热/冷却可用真空、气氛环境、低温（高纯度惰性气体静态或流动），操作简单，使用石英玻璃制成。红外线可传送到加热/冷却室。

二、高温退火炉性能优势

可匀速、阶梯（升降温）、循环冲击，真空、气氛等多种的加热方式。

采用移相触发技术，*可实现控制精度波动0.5C以内，温控精度高。

加热速度快，并且同时提供了材料的多种性测试环境。

三、应用范围

1.电子材料

半导体用硅化合化的PRA（加热后急速冷却）

热源薄膜形成

激活离子注入后

硅化物的形成

2.陶瓷与无机材料

陶瓷基板退火炉

玻璃基板退火炉

陶瓷张力、挠曲试验退火炉

3.钢铁和金属材料

薄钢板加热过程的数值模拟

炉焊接模拟

高真空热处理（1000℃以下）

大气气体熔化过程

压力下耐火钢和合金的热循环试验炉

4.复合材料

耐热性评价炉

无机复合材料热循环试验炉

5.其它

高温拉伸压缩试验炉

分段分区控制炉

温度梯度炉

炉气分析

超导陶瓷退火炉