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ToOne气浮隔震光学平台ZI-QF科研气浮隔振光学平台(科研级)应用领域:适合于高倍数电子显微镜、扫描探针显微镜、激光干涉仪、激光共聚焦显微镜等领域应用产品特点:◆公司依托于航空工业人员背景研发制造的具有负载能力强、刚性强、稳定性高、隔振效果好的科研级气浮隔振光学平台
万喜堂彩票app下载中心 To One气浮隔震光学平台
ZI -QF科研气浮隔振光学平台 (科研级)
应用领域:
适合于高倍数电子显微镜、扫描探针显微镜、激光干涉仪、激光共聚焦显微镜等领域应用
产品特点:
◆公司依托于航空工业人员背景研发制造的具有负载能力强、刚性强、稳定性高、隔振效果好的科研级气浮隔振光学平台。
◆优异的隔振性能 : 内置精密空气弹簧隔振系统,具备优秀的固有频率,对多个方向的振动特别是垂直方向有着良好衰减效果,避免外界振动干扰设备仪器精度,提高仪器设备使用精度和使用效率。
◆自动调节水平功能 : 放置负载的位置发生变化,平台迅速通过高精度阀门自动调整空气弹簧内部的气压,自动保持水平。气动元器件全部执行德国 FESTO 产品,标配进口无油压缩机。
◆台板采用蜂窝芯夹板结构 , 具有重量轻、高刚度、高阻尼等优点,上面板为 1cr17 优质高导磁不锈钢,经精密研磨处理,平面度高,回旋打磨工艺清除毛边,达到无反射、亚光效果, 面板具有 M6 螺纹孔阵列,易于固定光学元件。
◆隔振支撑为优质钢管焊接而成,整体坚固稳定。
◆工作压力为 0.35~0.6Mpa ,标准配置调压过滤阀将保证空气弹簧的长期有效工作,用户只需要将气管连接进气口,就能使装置正常发挥隔振功能,气源可通过小型空气压缩机或氮气瓶供给,便于在安静场合使用。
技术指标:
◆平面度 :<0.05mm/m2
◆M6螺纹孔 / 孔间距 25X25mm
◆表面粗糙度 :<0.8μm
◆固有频率: X 方向 :1.0Hz~1.5Hz ; Y 方向: 1.0Hz~1.5Hz
◆ 减振效率:X方向 <5Hz 时 :88%~94% ; Y 方向 <5Hz 时 :86%~92%
X 方向<10Hz时 :92%~98% ; Y 方向 <10Hz 时 :90%~95%
◆振幅 :<1μm
◆荷载能力 :800kg/m2
◆重复定位精度 :±0.05mm
产品型号:(可根据客户要求定制不同尺寸)
型号 | 规格(mm ) | 支撑数量 | 面板厚度 | 台面厚度 | 螺纹孔/ 孔距 |
ZI- QF -06-06 | 600x600x800 | 4 | 6mm | 50mm | M6/25X25mm |
ZI- QF -075-075 | 750x750x800 | 4 | 6mm | 50mm | M6/25X25mm |
ZI- QF -09-06 | 900x600x800 | 4 | 6mm | 100mm | M6/25X25mm |
ZI- QF -10-08 | 1000x800x800 | 4 | 6mm | 100mm | M6/25X25mm |
ZI- QF -12-08 | 1200x800x800 | 4 | 6mm | 100mm | M6/25X25mm |
ZI- QF -12-09 | 1200x900x800 | 4 | 6mm | 100mm | M6/25X25mm |
ZI- QF -15-09 | 1500x900x800 | 4 | 6mm | 100mm | M6/25X25mm |
ZI- QF -16-10 | 1600x1000x800 | 4 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI- QF -15-12 | 1500x1200x800 | 4 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI- QF -18-10 | 1800x1000x800 | 4 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI- QF -18-12 | 1800x1200x800 | 4 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI- QF -20-10 | 2000x1000x800 | 4 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI- QF -20-12 | 2000x1200x800 | 4 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI- QF -24-12 | 2400x1200x800 | 4 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI- QF -30-12 | 3000x1200x800 | 6 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI- QF -30-15 | 3000x1500x800 | 6 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI- QF -35-15 | 3500x1500x800 | 6 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI- QF -40-15 | 4000x1500x800 | 6 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI- QF -50-15 | 5000x1500x800 | 10 | 10mm | 300mm | M6/25X25mm |
ZI- QF -60-15 | 6000x1500x800 | 12 | 10mm | 300mm | M6/25X25mm |
实际安装案例:
至一科技主动主动隔震系统,桌上型主动隔震台,桌上型被动隔震台,桌上型气浮隔震台,被动减震器......
广泛应用于电子显微镜、显微镜、半导体设备(光刻机、晶圆测试仪)、激光设备、原子力显微镜、干涉仪、轮廓仪等等
图1:ArisMD主动隔震系统安装案例(主要应用于电子显微镜、半导体设备) |
图2:ArisTT主动隔震台安装案例(主要应用于AFM、干涉仪、桌上型电镜) |
图3:SotoTT被动隔震台安装案例(主要应用于显微镜、电子天平、激光设备、半导体测试测试设备) |
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