万喜堂彩票 
万喜堂彩票
EdgeCDG045D21…1000托/毫巴INFICONEdge电容膜片真空计属于高精准真空测量仪器，专为苛刻的生产环境而设计
INFICON Edge 电容膜片真空计属于高精准真空测量仪器，专为 苛刻的生产环境而设计。经验证的温度控制、防腐蚀超纯陶瓷传感器可长期提供 的满量程稳定性和的零点稳定性。Edge 采用 INFICON 获得的 传感器屏蔽，可保护真空计在使用过程中产生不需要的附带结果。 的电子设备为所有应用提供各种可配置的信号条件以及可选的 EtherCAT 现场总线接口。 创新的加热概念确保了冰凉的接触表面并节省了宝贵的工具空间。 INFICON Edge 是同类产品中体积Z小的真空测量仪器。
设计紧凑，节省宝贵的工具空间
易于集成，EtherCAT，各种满刻度和法兰，标配两个设定点
轻松一键调零或远程信号调零指令，可调零点偏移
诊断端口用于快速维修和维护
两年保修服务，的加热概念和真空计保护延长了使用寿命
的信号稳定性和可重复性，即使是Z苛刻的等离子应用，都无需长期执行重新校准
合规性与标准：CE、EN、UL、SEMI、RoHS
用于 CVD、刻蚀、PVD 和其他半导体制造过程
| 类型 | 1000 Torr, 1100 mbar | 500 ... 1 Torr / mbar | |
|---|---|---|---|
| 精度 (1) | % of reading | 0.15 | 0.15 |
| 温度效应 | | | |
| 零点 | percent FS/°C | 0.0025 | 0.0025 |
| 满量程 | % of reading / °C | 0.01 | 0.01 |
| 压力，Z大 | kPa (absolute) | 400 | 260 |
| 分辨率 | percent FS | 0.003 | 0.003 |
| Z低读数 | percent FS | 0.01 | 0.01 |
| 建议的Z低读数 | percent FS | 0.05 | 0.05 |
| 建议的Z低控制压力 | percent FS | 0.5 | 0.5 |
| 温度 | | | |
| 传感器 | °C | 45 | 45 |
| 运行（环境） | °C | +10 … +40 | +10 … +40 |
| 在法兰处烘烤 | °C | ≤110 | ≤110 |
| 贮存 | °C | –20 … +65 | –20 … +65 |
| 电源电压 | | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) |
| 功耗 | | | |
| 加热时 | W | ≤15 | ≤15 |
| 运行温度 | W | ≤10 | ≤10 |
| 输出信号（模拟） | V (dc) | 0 … +10 | 0 … +10 |
| 反应时间 (2) | ms | 30 | 30 |
| 保护等级 | | IP 40 | IP 40 |
| 标准 | | | |
| CE 合规 | | EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS |
| ETL 认证 | | UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 | UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 |
| SEMI 合规 | | SEMI S2 | SEMI S2 |
| 电气连接 | | D-sub, 15 pole, male | D-sub, 15 pole, male |
| 设定点 | | | |
| 设定点数量 | | 2 (SP1,SP2) | 2 (SP1,SP2) |
| | | | |
| 继电器触点 | ≤30 | ≤30 | |
| 滞后 | percent FS | 1 | 1 |
| 诊断端口 | | | |
| 协议 | | RS232-C | RS232-C |
| 读数 | | pressure, status, ID | pressure, status, ID |
| 设置 | | set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset | set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset |
| 暴露于真空的材料 | | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L(4)) | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L(4)) |
| 内部容积 | | | |
| 内部容积 1/2'' 管 | cm³ (in.³) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) |
| 内部容积 DN 16 ISO KF | cm³ (in.³) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) |
| 内部容积 DN 16 CF-R | cm³ (in.³) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) |
| 内部容积 8 VCR® | cm³ (in.³) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) |
| 重量 | | | |
| 重量 1/2'' 管 | g | 837 | 837 |
| 重量 DN 16 ISO KF | g | 852 | 852 |
| 重量 DN 16 CF-R | g | 875 | 875 |
| 重量 8 VCR® | g | 897 | 897 |
| | | | |
| EtherCAT | | | |
| 协议 EtherCAT | | protocol specialized for EtherCAT | protocol specialized for EtherCAT |
| 通讯标准 | | ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" | ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" |
| 数据率 | Kbps | 100000 | 100000 |
| 节点地址 | | Explicit Device Identification | Explicit Device Identification |
| 物理层 | | 100BASE-Tx (IEEE 802.3) | 100BASE-Tx (IEEE 802.3) |
| 数字功能读取 | | pressure, status, ID | pressure, status, ID |
| 数字功能设置 | | set points, filter, zero adjust, reset, DC offset | set points, filter, zero adjust, reset, DC offset |
| 过程数据 | | Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping | Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping |
| 邮箱 (CoE) | | SDO requests, responses and information | SDO requests, responses and information |
| EtherCAT 连接器 | | RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT | RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT |
| 电缆 | | shielded Ethernet CAT5e or higher | shielded Ethernet CAT5e or higher |
| 电缆长度 | m (ft.) | ≤100 (330) | ≤100 (330) |
(1) 25 °C 环境温度时非线性、滞后、可重复，运行 2 小时后不产生温度效应。
(2) 增加 10 … 90 % FS
(3) 仅适用于压力控制类型
(4) 18% 铬，10% 镍，3% 钼，69% 铁
您感兴趣的产品 PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
智能制造网 设计制作，未经允许翻录必究 .
请输入账号
请输入密码
= 请输验证码
请输入计算结果（填写阿拉伯数字），如：三加四=7 